|
Тепловые массовые расходомеры
Тепловая технология и развитие массовых расходомеров (Mass Flow)
Первоначально тепловые контроллеры массового расхода были разработаны в 1960-х и 1970-х годах для полупроводниковой промышленности с целью измерений осаждений из паровой фазы при производстве полупроводников.
Со временем тепловые контроллеры массового расхода начали использоваться и в других областях, таких как разработка лекарственных веществ, испытаниях на герметичность и в аэрокосмической промышленности. Сегодня контроллеры массового расхода и массовые расходомеры используются в тех случаях, когда необходимы точный контроль и управление технологическими газами.
Тепловая технология основана на принципе тепловой конвекции. Она произошла из технологии анемометров, известной еще до 20 века. Это давнишняя технология и она очень хорошо работает.
Как повышаются требования к массовым расходомерам и контроллерам массового расхода, так и возрастают требования к их функциональности. Потребителям необходима более высокая точность, большая скорость отклика, большая функциональность и более простое использование. Расширяющийся рынок массовых расходомеров и контроллеров предъявляет новые требования к существующей тепловой технологии. Эксплуатационные характеристики, присущие тепловой технологии, такие как большое время прогрева и малая скорость отклика, начали открывать возможности для новых технологий, способных заполнить пустующие ниши на рынке расходомеров. Инвесторы начали находить новые возможности рынка массовых расходомеров и постепенно начали развиваться новые технологии. Это привело к разработке приборов новой конструкции, таких как на основе эффекта Кориолиса и ламинарных приборов, каждый из которых имеет свой собственный набор достоинств и недостатков. Но наряду с новыми технологиями продолжают развиваться и тепловые массовые расходомеры и контроллеры массового расхода.
Таблица сравнения приборов Alicat с типовыми приборами
| |
Массовые приборы Alicat |
Типовые тепловые массовые приборы |
| Датчик |
Твердотельный, кремниевый, основанный на разнице давлений |
Термосопротивление или термопара |
| Скорость отклика |
10 мс (не требуется коррекция с помощью ПО) для расходометров и 50 мс для контроллеров |
0.5-3.0 с (без ПО), 500 мс (коррекция с помощью ПО предсказывает поток) |
| Дисплей |
В базовой комплектации, встроенный |
Опционально, если возможно, внешняя установка |
| Сумматор |
Опциональный, встроенный |
Опционально, если возможно, внешняя установка |
| Вывод данных |
Интегрирующий дисплей показывает массовый и объемные расходы, температуру и абсолютное давление в магистрали |
Массовый расход |
| Выходы |
В стандартной комплектации –встроенный дисплей, аналоговый выход (либо 0-5 В, 0-10 В, 1-5 В, либо 4-20 мА), и стандартный интерфейс RS-232 (без специального ПО).
Опционально может быть заказан второй аналоговый выход для вывода либо массового, либо объемного расходов, либо температуры или давления. |
В стандартной комплектации –аналоговый, опционально дисплей, если возможно, опционально цифровой выход, если возможно. |
| Цифровые выходы |
Стандартный вывод включает: массовый и объемный расходы, температуру и давление в магистрали, выбранный газ и сумма, если заказана опция сумматора. |
Цифровой выход массового расхода, если имеется. |
| Питание |
7-30 В DC, 35 мА для расходометров. 12-30 В DC 250 мА для небольших клапанных контроллеров и 24-30 В DC для больших. Стандартный разъем для сетевого адаптера и контакты для сетевого кабеля. Может работать от любого источника: от стандартной батареи 9 В до 12 или 24 В от блока питания или недорогого адаптера от стеновой розетки. |
Специальный блок питания постоянного тока 15 В, регулируемый |
| Фурнитура |
Стандартные NPT или миниатюрные газовые фитинги. Недорогие, подходящие к обычно применяемым деталям. Также на заказ возможны фитинги типа Swage-lok®. |
Специализированная, типов Swage-lok®, VCR и т.п. |
| Возможность измерения многих видов газов |
В стандартной комплектации – 30 газов, выбираемых из меню со встроенного дисплея. |
Один газ, таблицы перевода |
| Присущая линейность характеристики |
Да |
Нет |
| Документация |
Встроенный дисплей показывает номер модели, серийный номер, дату изготовления, имя калибровщика и версию ПО. Также имеется наклейка с номером модели и серийным номером. |
В комплекте прибора один документ, наклейка |
| Диапазоны расходов |
Диапазоны варьируются от максимального значения шкалы в 0.5 см3/мин до 2000 и более л/мин |
Диапазоны варьируются от максимального значения шкалы в 10 см3/мин до 50 л/мин. |
|
|
2015-2020 
