АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru






Расходомеры и контроллеры потока
Подшипники для вакуума

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ВСПОМОГАТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ

Расходомеры и контроллеры потока газа Предустановленные калибровки расходомеров и контроллеров
Расходомеры и контроллеры потока жидкости Применение расходомеров и контроллеров
Контроллеры для управления давлением и вакуумные датчики       Теория работы расходомеров и контроллеров
Путеводитель по продуктам  

Контроль расхода при напылении

В процессе напыления плазмообразующий газ (как правило, аргон) используется для заполнения вакуумной камеры, в которой размещены решетка-мишень и подложка. Измерение количества плазмообразующего газа в камере важно для контроля количества атомов, выпущенных решеткой-мишенью.
При реактивном напылении в камеру также вводятся химически-активные газы, такие как кислород и азот (обычно для напыления подложек составными веществами, такими как окись титана). Для предотвращения отравления мишени в камере должны поддерживаться необходимые парциальные давления этих газов.
В этом случае критически важны малое время отклика и высокая точность измерений.
При больших катодах и больших камерах напыления, в которые газ поступает из нескольких источников, множеством контроллеров массового расхода можно управлять с одного последовательного порта или через аналоговый вход/выход.

Контроль расхода при напылении

Преимущества Alicat:

> Относительная нечувствительность к изменению рабочих и окружающих температур и давлений.

> Выходные клапаны обеспечивают полную совместимость с рабочими камерами глубокого вакуума.
> Время регулирования – 25-100 мс.         > Настройка PID-контроллера в полевых условиях под специфические требования заказчика.
> Выбор параметра регулирования позволяет поддерживать одним прибором массовый расход, объемный расход или абсолютное давление, одновременно измеряя массовый расход, температуру, объемный расход и абсолютное давление.
> Многоточечный интерфейс RS-232 позволяет подключать у одному последовательному порту компьютера до 26-ти приборов Alicat и задавать им точки регулирования.
> Возможность выбора через меню Gas Select™ одного из 30-ти наиболее часто используемых газов и смесей.


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика