АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru






Расходомеры и контроллеры потока
Системы подачи газов
Подшипники для вакуума

Распродажи

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости
       Все новости АКТАН ВАКУУМ

2015. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru



03.11.2016

Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont
подробнее...


01.11.2016

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее...

26.04.2016.

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО "АКТАН ВАКУУМ" приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее...

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!
Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ "Сокольники", павильон № 2
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

подробнее...

30.09.2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке Aerospace Testing & Control 2015 подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне "Крокус Экспо", пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки

подробнее...

06.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific...
подробнее о тренинге...

2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее...



АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ВСПОМОГАТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ

Расходомеры и контроллеры потока газа Предустановленные калибровки расходомеров и контроллеров
Расходомеры и контроллеры потока жидкости Применение расходомеров и контроллеров
Контроллеры для управления давлением и вакуумные датчики       Теория работы расходомеров и контроллеров
Путеводитель по продуктам  

Контроль расхода при напылении

В процессе напыления плазмообразующий газ (как правило, аргон) используется для заполнения вакуумной камеры, в которой размещены решетка-мишень и подложка. Измерение количества плазмообразующего газа в камере важно для контроля количества атомов, выпущенных решеткой-мишенью.
При реактивном напылении в камеру также вводятся химически-активные газы, такие как кислород и азот (обычно для напыления подложек составными веществами, такими как окись титана). Для предотвращения отравления мишени в камере должны поддерживаться необходимые парциальные давления этих газов.
В этом случае критически важны малое время отклика и высокая точность измерений.
При больших катодах и больших камерах напыления, в которые газ поступает из нескольких источников, множеством контроллеров массового расхода можно управлять с одного последовательного порта или через аналоговый вход/выход.

Контроль расхода при напылении

Преимущества Alicat:

> Относительная нечувствительность к изменению рабочих и окружающих температур и давлений.

> Выходные клапаны обеспечивают полную совместимость с рабочими камерами глубокого вакуума.
> Время регулирования – 25-100 мс.         > Настройка PID-контроллера в полевых условиях под специфические требования заказчика.
> Выбор параметра регулирования позволяет поддерживать одним прибором массовый расход, объемный расход или абсолютное давление, одновременно измеряя массовый расход, температуру, объемный расход и абсолютное давление.
> Многоточечный интерфейс RS-232 позволяет подключать у одному последовательному порту компьютера до 26-ти приборов Alicat и задавать им точки регулирования.
> Возможность выбора через меню Gas Select™ одного из 30-ти наиболее часто используемых газов и смесей.


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2018 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика