|
Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет системы измерения профиля поверхности с построением
трехмерного изображения.
FSM RTH Измеритель профиля поверхности с построением трехмерного изображения
• Устройство «все в одном», сочетающее видеомикроскопию и
объемное топографирование поверхности
• Технология двух измерений для гладких и неровных поверхностей
• Гибкое устройство с колонкой объективов на 6 позиций
• Быстрое в настройке и работе
• Быстрый сбор и обработка информации, менее 10 с
• Точность измерений в нанометрическом диапазоне
• Сертифицированное измерительное устройство
ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ
Медицинские приборы
Электроника
Микромеханические полупроводники
Керамика
Бумага
Полимеры
Металл
Гладкая
Неровная
С перепадами по высоте
Крутые боковые поверхности
Поддерживается программой RTH3D
Основываясь на патентованной цифровой фазовой технологии, FSM RTH быстро и легко производит трехмерную реконструкцию из набора двумерных насыщенных изображений. FSM RTH предоставляет полный комплекс инструментов от автоматического сбора и обработки данных до трехмерного анализа и отчетов.
• Сбор и обработка
- Автоматическая калибровка
- Автоматический сбор данных
- Автоматическая обработка данных
- Автофокус и выдержка
- Интересующий участок
- Навигатор
|
• Трехмерный анализ и измерение
- Двумерные измерения
- Трехмерная топография поверхности
- Извлечение профиля
- Измерение высоты ступеньки
- Параметры шероховатости
- Параметры волнистости
|
• Экспорт данных и отчет
- Архивирование проекта
- Трехмерные данные в формате Excel
- Трехмерные данные в форматах других производителей
- Редактор отчетов
- Совместимое с HTML представление данных
|
 |
 |
 |
ХАРАКТЕРИСТИКИ и ТЕХНИЧЕСКИЕ СПЕЦИФИКАЦИИ
Характеристики зависят от объектива RTH. В таблице ниже приведен пример.
|
Объективы микроскопа
|
5x
|
10x
|
20x |
50x
|
100x
|
| Рабочее отрезок, мм
| 23,5 |
17,5 |
4,5 |
1 |
1 |
| Числовая апертура
| 0,15 |
0,3 |
0,45 |
0,8 |
0,9 |
| Площадь измерения (X, Y), мм²
| 1,3 x 1,0 |
6,6 x 5,3 |
3,3 x 2,7 |
1,3 x 1,0 |
0,65 x 0,5 |
| Разрешение в поперечном направлении (X, Y), мкм
|
2,8 |
1,4 |
0,9 |
0,5 |
0,4 |
| Простое и расширенное получение фазы в режимах GetPhase® (GP)* / GetPhase® Extended (GPE)**
| GP |
GPE
|
GP |
GPE
|
GP |
GPE
|
GP |
GPE |
GP |
GPE |
| Максимальный наклон, градусов
| 8 |
89 |
16 |
89 |
24 |
88 |
38 |
84 |
42 |
78 |
| Диапазон по оси (Z), мкм
| 35 |
1000 |
9 |
250 |
4 |
62,5 |
1,1 |
10 |
0,8 |
2,5 |
| Разрешение по оси (Z), мкм
| 0,35 |
6,9 |
0,09 |
1,7 |
0,04 |
0,7 |
0,011 |
0,2 |
0,008 |
0,17 |
| Количество точек измерения |
1,3 M (матрица 1280 x 1024 пикселов) |
| Время измерения в секундах
| < 10 |
| Освещение и объективы |
Светодиодное освещение, имеется 6 позиций объектива |
| Позиционирование образцов
| Ручное X-Y 75 мм х 50 мм |
| Размеры (Д х Ш х В), мм
| 180 x 72 x 120 |
| Вес,кг
|
2,5 |
RTH: Диапазон Z в пределах глубины поля объектива.
RTH 3D: Диапазон Z за пределами глубины поля объектива.
|
|
