|
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет контроллеры для измерения скорости напыления и толщины пленки.
Контроллер для измерения скорости напыления и толщины плёнки STC-2000А
| Наименование |
Цена со скидкой |
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru |
| STC-2000A |
2995 USD с НДС. Оплата по курсу ЦБ РФ на день оплаты. |
 |
 Контроллер измерения скорости напыления тонких плёнок вакуумными методами STC-2000А предлагает функциональность, недоступную ранее в контроллерах для контроля над процессом напыления тонких плёнок. Улучшенная электроника на базе современной микропроцессорной технологии, LCD дисплей, возможность хранения программ на 50 плёнок, рецептов на 9 процессов и программируемые входы/выходы предоставляет пользователю универсальность, эксплуатационную гибкость.
Данный контроллер будет идеальным средством для автоматизации вашей вакуумной напылительной системы. STC-2000A работает с проверенными временем кварцевыми кристаллами на 6 МГц.
Современная электроника и программное обеспечение позволяют в режиме реального времени рассчитывать толщину напыляемой плёнки, основываясь на данных по изменению частоты колебаний в кварцевом кристалле, связанной с изменением массы самого кристалла. Масса кварцевого кристалла изменяется при осаждении на нём напыляемого материала.
Инновационная измерительная система позволяет данному контроллеру измерения скорости напыления тонких плёнок получать, обрабатывать и отображать значение скорости напыления 10 раз в секунду с высокой разрешающей способностью 0.133 А/с, для каждого из подсоединённых к контроллеру датчику измерению скорости напыления.
В стандартной комплектации контроллер измерения скорости напыления тонких плёнок STC-2000A поставляется с 8 реле, 8 входов, RS-232 интерфейс, выходы с высоким разрешением для аналогового сигнала и записи данных.
Спецификация:
Период измерения скорости напыления
• 0.1 секунда (10 измерений в секунду)
Разрешающая способность по частоте
• 0.03 Гц
Разрешающая способность по толщине напыляемой плёнки
• 0.0133 Ангстрем для алюминия
Разрешающая способность по скорости напыления
• 0.133 Ангстрем в секунду для алюминия
Точность измерения
• 1х10-6 (эквивалентно +/- 5 Гц) абсолютное значение
•
0.03 Гц/измерение – относительное значение
Диапазон измерения
• 500 кА (50 мкм) – алюминия
Стандартный кварцевый кристалл
• 6 Мгц
Датчиков измерения скорости напыления
• 2
Дисплей
• 240 x 64 пикселей, монохромный LCD дисплей c подсветкой и 4 программируемыми пользователем светодиодами
Управление
• Управляемый с помощью меню сенсорная панель для ввода параметров, 10 мембранных кнопок (STOP, START, MENU, MANUAL, ZERO, STATUS и 4 программируемые пользователем кнопки)
Хранение плёнок (Стандартная конфигурация)
• 50 плёнок, 9 рецептов для последовательного напыления (99 слоёв каждый)
Характеристики плёнок Film Parameters
• Плотность материала: от 0.4 до 99.99 г/куб.см
• Z-фактор материала: от 0.1 до 9.999
Контрольные точки
• Толщина (2), Время (1)
Диапазон управления скоростью напыления
• от 0.0 до 999.9 Å/с
Внешняя память (Опционно)
• Сохранить/Восстановить все параметры, конфигурации, плёнки, Процессы, Входы/Выходы в переносном модуле хранения данных (опционно)
Конфигурация входа/выхода (Стандарт: одна карта выхода, одна карт входа)
• Выход: 8 однополюсных реле, 1.0 A и 24 В постоянного тока
• Вход: 8 оптосовместимых входа, 5-24 В постоянного тока, (4 слота доступны для карт входа или выхода)
Интерфейс протокол
• RS-232C (Sycon формат или ASCII)
Аналоговые выходы
• +12 бит на каждый из 2 выходов
Управление выходным сигналом
• 10 мА, 0 - 10 В (программируемый диапазон: 2.5, 5, 10 В)
Выход для записи данных
• 10 мА, 0 - 10 В (программируемые), скорость напыления, толщина, отклонение скорости напыления, дистанционное управление
Управление мощностью
• Автоматическое в трёх режимах, Ручное управление контроллером из ПО или с передней панели
Монтаж на стойке управления
• 3 1/2" – половина стандарта Rack
Мощность
• 90-264 В, 50-60 Гц, 168 ВА макс..
Вес
• 2.2 кг
Температурный диапазон
• 0 - 40°C окружающего воздуха
Смотреть другие модели кварцевых измерителей толщины тонких пленок
|
|
