Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет
контроллеры для измерения скорости напыления и толщины пленки.
Монитор STM-2XM для измерения толщины напыляемой плёнки и скорости напыления от двух сенсоров.
Наименование
Цена со скидкой
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru
STM-2XM
1900 USD с НДС. Оплата по курсу ЦБ РФ на день оплаты.
Данный монитор является новым поколением мониторов для измерения толщины напыляемой плёнки и скорости напыления плёнки. Предлагаемые им возможности доступны только в более дорогих и сложных контроллерах для измерения толщины плёнок других производителей, например, предлагаемая им возможность одновременного контроля скорости напыления с двух сенсоров для получения сплавов или сложных стереохимических структур, получаемых одновременным напылением двух материалов. Наличие аналоговых выходов и наличие встроенных реле и контрольных точек делает его незаменимым прибором для построения полуавтоматических систем для напыления тонких плёнок и контроля за процессом напыления. Прибор имеет высококонтрастный LCD дисплей, интуитивно понятное меню для управления и выставления параметров, сопровождаемое системой подсказок и быстрым доступом к системе помощи.
Особенности монитора для контроля скорости напыления и толщины тонких плёнок STM-2XM:
■ Имеет высокоскоростной, высокоточный процессор, устанавливаемый в контроллерах для контроля скорости напыления и толщины плёнки
■ Использование метода расчёта временного среднего значения измеряемой величины для получения высокой точности измерений, даже при очень низких скоростях напыления
■ Пространственное усреднение для измерения с высокой точностью в больших вакуумных камерах или при использовании планетарного механизма
■ Режим, в котором монитор измерения толщины плёнок STM-2XM работает как два независимых монитора для измерения толщины плёнок, получаемых методами вакуумного напыления
■ Выставление значения задержки заслонки для более точного контроля характеристик напыляемой плёнки
■ Дискретизация (измерение значения толщины плёнки через определённые равные интервалы времени) для измерения толстых плёнок с целью увеличения срока жизни кристалла
■ Возможность закончить процесс напыления даже в случае выхода из строя кварцевого кристалла датчика измерителя толщины
■ Графики скорости напыления, толщины, и изменения скорости напыления
■ Отображение единиц измерения массы или толщины
■ 8 программируемых цифровых входа, 8 цифровых программируемых выхода, и 4 аналоговых выхода
Спецификация:
Работа в нескольких режимах
• Режим одной плёнки (“Simple”)
• Режим напыления толстой плёнки (отключение кристалла)
• Режим пространственного усреднения
• Режим получения сплава (одновременная согласованная работа двух сенсоров)
• Режим «Два монитора» (одновременная несогласованная работа двух сенсоров)
Разрешение при измерении толщины (без усреднения)
• 0.0133Å за измерение
Разрешение при измерении скорости напыления (без усреднения)
• 0.133Å в секунду
Разрешение при измерении толщины (50 среднее выборочных значений)
• 0.002Å за измерение
Разрешение при измерении скорости напыления (50 средней выборочных значений)
• 0.02Å в секунду Погрешность
• 0.03 Гц / измерение.
Высокая скорость измерений
• Десять измерения в секунду
Диапазон измерения
• 500KÅ в Алюминиевом эквиваленте
4 Аналоговых выхода: -10… +10В
• Толщина
• Скорость
• Изменение скорости
• управляемый компьютером
Выходы реле: 8 штук однополюсных выключателей по 1.5 А
•Ручной (с панели управления)
• Заслонка источника
• Заслонка подложки
• Заслонка датчика измерения толщины (заслонка кварцевого кристалла)
• Выхода из строя датчика измерения толщины
• Выставленное время (контрольная точка по времени)
• Выставленная толщина (контрольная точка по толщине напыляемой плёнки)
• «Подходящая» скорость напыления
• Управляемый компьютером
Входные сигналы: 8 входов, совместимых с ТТЛ (транзист.-транзист. логика)
• Открытие заслонки
• Закрытие заслонки
• Обнуление толщины
Контрольные точки
• Конечная толщина от 0.000 до 999.9 кÅ
• Промежуточная толщина от 0.000 до 999.9 кÅ
• Время от 0:00:00 до 9:59:59 (час:мин:сек)
Требования к электросети
• 120/240 В, 50/60 Гц, 2.5 ВА
