АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2020 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН. Вся вакуумная техника. Термовакуумное оборудование. Вакуумные напылительные системы. Криогенная и криовакуумная техника.

оборудование и компоненты для вакуумных напылительных и плазменных технологий 

Компания АКТАН поставляет нагреваемые подложкодержатели для вакуумных напылительных систем.

Нагреваемые подложкодержатели

Нагреваемые подложкодержатели для магнетронов.Нагреваемые подложкодержатели для магнетронного распыления выпускаются в двух версиях:
1) для крепления образцов и
2) для крепления пластин.
Максимальная температура нагрева составляет 950 ºС. Используются источники питания переменного или постоянного тока.

Нагреваемые подложкодержатели для крепления образцов в процессе магнетронного распыления
- на поверхности данного подложкодержателя можно просверлить отверстия, нарезать в них резьбу, прикрепить зажимы для крепления образцов
- перед эксплуатацией данный подложкодержатель должен быть обязательно прогрет до (или выше) рабочей температуры процесса напыления
- для лучшей теплопередачи на поверхность подложкодержателя может быть нанесена Теплопроводящая Серебряная Паста (ТСП продается как дополнительная принадлежность).

Нагреваемые подложкодержатели для крепления пластин в процессе магнетронного распыления
- выполнен из инконеля
- в подложкодержателе выточено углубление под конкретный размер пластины
- не рекомендуется использовать Теплопроводящую Серебряную Пасту с данным подложкодержателем

Таблица.  Нагреваемые подложкодержатели.
                                                                             SU-200-HH  SU-200-IH
                
SU-300-HH
                  
SU-300-IH
                 
                 
SU-600-IH
                 
  
Тип напыляемого изделия Образец Пластина Образец Пластина Пластина
Размер, мм 50 50 75 100 150
Равномерность температуры +/- 1% +/- 1% +/- 1% +/- 2% +/- 2%
Область равномерности, мм 32 50 56 100 150
Время нагрева до 950 ºС, мин 12 12 13 22 30
Время охлаждения 35 мин 35 мин 40 мин 3 ч  4 ч
Максимальный ток, А 10   10 9 14 14
Максимальное напряжение, В 45 45 85 85 135
Сопротивление нагревателя, Ом 5   5 10 6 10

Компания АКТАН также поставляет вакуумные напылительные системы ADVAVAC и вакуумные напылительные установки про-ва США  с электронно-лучевым испарителем (с одним или несколькими источниками), полностью автоматические или более бюджетный вариант с частичной автоматизацией.
 
 


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2026 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика