ADVAVAC-160 Установка барабанного типа для резистивного испарения тонких металлических пленок

Подложкодержатель данной установки разработан для обеспечения высокой равномерности осаждения на подложках сложной трехмерной формы. Система предназначена для индустриального применения и способна работать 24 часа в сутки, 120 часов в неделю.

Преимущества напылительной системы ADVAVAC-160


■  Позволяет напылять слои металлов с высоким качеством
■  Увеличенная продуктивность за счет уменьшения времени цикла
■  Качественные комплектующие системы гарантируют высокую повторяемость процесса
■  Высокая скорость напыления;
■  Низкая себестоимость;
■  Легкость в управлении за счет удобного интерфейса программного обеспечения;
■  Поддержка производителя.

Базовая конфигурация системы:

Система откачки:
• Диффузионные насосы модель диаметром 55 см -2 шт
• Высокопроизводительные пластинчато –роторный насос и насос Рутса.
• Криоловушка производительностью 100 тыс. л/с

Напылительная система (возможны различные конфигурации):
• Электронно- лучевая пушка с 4 тиглями (до 2 шт)
• Возможна установка резистивных испарителей
• Возможна установка до 4 магнетронов (ПТ и ВЧ)

Источник ионов:
Линейный источник ионов с замкнутым дрейфом электронов для модификации поверхности и ассистирования во время нанесения тонкой пленки.

Подложкодержатель:
Барабан с планетарными держателями. Каждый из 25 подложкодержателей вращается вокруг своей оси, что позволяет напылять сложные трехмерные образцы с высокой равномерностью. Подогрев подложки осуществляется инфракрасным подогревателем, максимальная температура 150˚С.

Система подачи газа: включает в себя две линии для подачи аргона и реактивного газа.

Контроль скорости роста толщины пленки осуществляется двойным кварцевым кристаллом.

Управление установкой:
на основе системы промышленного компьютера. Многоуровневая система доступа и модульная структура редактирования рецептов позволяют провести как полностью автоматический, так и ручной цикл напыления.

Технические данные:
Размеры: см (Ш х Г х В): 350 х 420х 240
Внутренние размеры вакуумной камеры: диаметр 160 см.
Длинна барабана ( напыляемая зона) – 100 см


Если среди вышеописанных PVD или CVD систем Вы не нашли ту, которая наиболее полно решала бы стоящие перед Вами задачи, то, пожалуйста, обратитесь к нашим специалистам, и под заказ, под требования заказчика будет изготовлена система, в которой будут учтены все Ваши пожелания. Для отправки запроса нажмите «ЗАПРОС» в меню.