ADVAVAC-ARC160 Вакуумная напылительная система с дуговыми источниками

Напылительная система с дуговыми источниками разработана для нанесения декоративных, упрочняющих а также защитных покрытий на различные подложки.

Преимущества напылительной системы ADVAVAC-ARC160

■ Имеет высокую продуктивность, разработана для индустриального применения
■ Возможность как дугового, так и магнетронного напыления
■ Комплектация надёжными узлами гарантирует высокую повторяемость процесса
■ Высокая скорость напыления
■ Низкая себестоимость
■ Легкость и удобство в управлении, интуитивно-понятный интерфейс ПО 

Базовая конфигурация системы:

Система откачки:
• Высокопроизводительный диффузионный насос с диаметром фланца 60 см
• Высокопроизводительный пластинчато –роторный насос и насос Рутса

Напылительная система (возможны различные конфигурации):
• До 10 дуговых источников (возможно, с сепаратором масс)
• До 4 магнетронов, расположенных в ряд

Источник ионов:
Линейный источник ионов с замкнутым дрейфом электронов для модификации поверхности и ассистирования во время нанесения тонкой пленки.

Подогрев подложки: Осуществляется инфракрасным подогревателем максимальная температура 150˚С.

Подложкодержатель:
Барабан с планетарными держателями. Каждый из 25 подложкодержателей вращается вокруг своей оси, что позволяет напылять сложные трехмерные образцы с высокой равномерностью.

Система подачи газа: включает в себя две линии для подачи аргона и реактивного газа.

Контроль скорости роста толщины пленки осуществляется двойным кварцевым кристаллом.

Управление установкой:
на основе системы Profibus I/O и промышленного компьютера. Многоуровневая система доступа и модульная структура редактирования рецептов позволяют провести как полностью автоматический, так и ручной цикл напыления.

Технические данные:
Размеры: см (Ш х Г х В): 350 х 420х 240
Внутренние размеры вакуумной камеры: диаметр 160 см.
Длинна барабана ( напыляемая зона) – 100 см


Если среди вышеописанных PVD или CVD систем Вы не нашли ту, которая наиболее полно решала бы стоящие перед Вами задачи, то, пожалуйста, обратитесь к нашим специалистам, и под заказ, под требования заказчика будет изготовлена система, в которой будут учтены все Ваши пожелания. Для отправки запроса нажмите «ЗАПРОС» в меню.