оборудование и компоненты для вакуумных напылительных и плазменных технологий
НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
ADVAVAC
Поставляемые под брендом
ADVAVAC (Канада – Ю.Корея) вакуумные напылительные системы характеризует высокая
стабильность работы, надежность узлов и
комплектующих, которые используются при
сборке данных напылительных систем.
Интуитивно понятное программное удобно в
работе и позволяет получать пленки с
высокой повторяемостью характеристик.
Большая часть вакуумных систем выпускается серийно, среди них:
■ вакуумные напылительные установки для оптики (прецизионное напыление для получения оптических фильтров и установки для напыления на офтальгологические линзы), лабораторные вакуумные магнетронные и резистивные напылительные установки,
■ вакуумные системы осаждения и травления из газовой фазы (CVD, PECVD),
■ вакуумные печи
■ системы ионной имплантации
Большой опыт в производстве вакуумного оборудования и современная производственная база позволяют изготовить вакуумные системы с учётом требований заказчика. Производитель, в случае необходимости, организует обучение и запуск установки на фабрике, проведёт обучение, а также обеспечит техническую и технологическую поддержку во время эксплуатации установки.
Напылительные системы могут быть поставлены с большим набором опций, что облегчит этап подготовки к процессу вакуумного напыления и позволит провести контроль над процессом напыления и результатом вакуумного напыления:
• ультразвуковая чистка подложек;
• печь для прогрева подложек;
• анализатор остаточных газов в рабочей камере;
• спектрометр для контроля результата напыления;
• специальная обработка подложек для увеличения твердости поверхности полимерных подложек до процесса вакуумного напыления;
• криоловушка для увеличения производительности откачки паров воды;
• система измерения внутреннего напряжения в напыленной плёнки;
• установка для измерения адгезии напыленной плёнки;
• система измерения удельного сопротивления напыленной плёнки.
Компания АКТАН проведёт установку и запуск данных вакуумных установок у заказчика, организует обучение работе на установке, окажет техническую и технологическую поддержку во время эксплуатации установок, обеспечит сервисное гарантийное и послегарантийное обслуживание.
Имея большой опыт в производстве вакуумных напылительных систем, компания производит системы под требования заказчика, под конкретный технологический процесс. В данном разделе ниже дана информация по вакуумным напылительным системам, изготавливаемым серийно:
