Вакуумная напылительная установка холодного распыления DESK V предназначена для напыления тонких токопроводящих слоёв на образцы перед их исследованием на растровых электронных микроскопах, с предварительной очисткой поверхности с помощью травления.
Основываясь более чем на 40 летнем опыте, компания Denton Vacuum производит настольные (занимаемая площадь 65х45 см) вакуумные напылительные системы для напыления образцов перед исследованием на сканирующем или просвечивающем электронном микроскопе. Полностью автоматические, очень надежные и удобные в работе, данные вакуумные напылительные установки используются во многих научных лабораториях во всем мире. Напылительная вакуумная установка за 3 мин. обеспечивает напыление проводящего слоя толщиной 100А, имеющего мелкозернистую структуру. Для получения ультра мелкозернистой структуры напыляемой плёнки выпускается настольная
магнетронная установка с турбомолекулярной откачкой. Улучшенная конструкция магнетрона, соединенная с запатентованной анодной сеткой, предотвращает бомбардировку электронами образца, благодаря чему достигается действительно «холодное» распыление.

Краткое описание настольной системы напыления.
Вакуумный насос, управляющая электроника, датчики и вакуумные клапаны – всё это располагается внутри корпуса напылительной установки. Вакуумная камера из стекла или нержавеющей стали с откачкой турбомолекулярным насосом (модель TSC). Магнетронная установка снабжена автоматическим клапаном напуска атмосферы, состояние которого (открыт или закрыт) зависит от состояния форвакуумного насоса (включен или выключен).

В камере имеется регулируемый по высоте столик для крепления образцов. Дополнительно может поставляться с возможностью вращения и наклона. Ручная заслонка устанавливается с целью защиты катода от загрязнения во время очистки образца с помощью травления. Возможность травления и вращения подложкодержателя имеются не во всех установках и дополнительно обговариваются во время заказа. Для напыления используются мишени толщиной от 0,05 до 0,1 мм.

Программируемый логический контроллер управляет автоматической работой системы. Напыление или травление проходит в автоматическом (по выставленному времени) или ручном режимах. Возможна регулировка тока для увеличения или уменьшения скорости напыления (с целью получения плёнки с более мелкой зернистой структурой). Сенсорный дисплей и графическое программное обеспечение сделают работу с настольной вакуумной напылительной установкой DESK V лёгкой и приятной. В модели DESK V TSC установлен широкодиапазонный датчик.

 
КОНФИГУРАЦИЯ ВАКУУМНЫХ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ УСТАНОВОК DESK V
 

DESK V	DESK V XLS	DESK V TSC
Камера из стекла Ø15см	Камера из стекла Ø25см	Камера из нержавеющей стали Ø15см с окном. Турбомолекулярный насос
Напыляет только драгоценные металлы	Напыляет только драгоценные металлы	Напыляет ВСЕ металлы
Откачка пластинчато-роторным форнасосом 85 л/мин (предельный вакуум менее 0,01 торр).	Откачка пластинчато-роторным форнасосом 85 л/мин	Откачка пластинчато-роторным форнасосом 85 л/мин и турбомолекулярным насосом 60 л/с (предельный вакуум: середина 10-6 торр).
Не требует подачи газа	Не требует подачи газа	Требуется подача газа (аргона)
Подложкодержатель Ø5см (пьедестал с предварительно просверленными отверстиями для крепления столиков-держателей обрзацов)	Вращающийся подложкодержатель Ø15см или Ø20см	Подложкодержатель Ø5см

Опции, которые могут содержать все модели магнетронных установок DESK V:
измеритель толщины покрытия, испаритель углерода (стержней или нити), вращение, одновременное наклон и вращение, травление (если выбирается опция вращение, то невозможно выбрать опцию «травление», и наоборот). По умолчанию магнетронные напылительные установки DESK V идут без вращения подложкодержателя, но с возможностью работы в режиме «Травление».