МАЛОГАБАРИТНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ СЕРИИ VS

Серия VS (Vacuum Small: VSM (магнетронное распыление), VSE (e-beam, электронно-лучевое испарение), VSR (Resistive, термо-резистивное испарение) –компактные установки с камерой D-формы, с поперечным размером от 30 до 40 см, с открывающейся фронтальной дверью. Грамотные конструкторские решения, заложенные в конструкцию установки, и комплектующие ведущих вакуумных производителей обеспечивают высокую надёжность данных напылительных систем.

Серия VS-100 (VSM-100, VSE-100, VSR-100) – дешёвые установки с ручным управлением, монитором для измерения толщины. Идеальны для обучения студентов работе с вакуумной напылительной техникой. Быстрый срок изготовления и лёгкость сервисного обслуживания.

Серия VS-200 (VSM-200, VSE-200, VSR-200) – бюджетные установки для лабораторий и мелкосерийного производства, с автоматическим управлением на базе PLC. В системе используется контроллер для измерения толщины плёнок, что предоставляет дополнительную гибкость в разработке процесса напыления и в отработке технологии. Недорогой двухканальный контроллер с обратной связью для измерения толщины и скорости напыления плёнки позволяет регулировать скорость напыления в автоматическом режиме.

Серия VS-300 (VSM-300, VSE-300, VSR-300) – полностью автоматические системы напыления, с возможностью хранения рецептов, параметров работы установки, с разделением уровня доступа (Оператор, Технолог, Сервис). Использует более дорогой и более фунциональный контроллер для измерения толщины и скорости напыления плёнки по сравнению с моделью VS-200. Программное обеспечение, позволяющее установке работать в полностью автоматическом или пошаговом режимах. Основные усилия при разработке серии VS-300 были направлены на создание сверхнадёжной системы, позволяющей ей работать в режиме 24/7 (24 часа в сутки, 7 дней в неделю). Этим фактом определялся и выбор комплектующих для этой серии – только самые надёжные и проверенные временем компоненты.

Серия VS-Combo разработана для напыления тонких плёнок разными методами в одном технологическом процессе. Идеология и подходы, разработанные для систем серий Vacuum Small 100, 200 и 300, и использованные в серии VS-Combo, позволяет создать дешёвую ручную или современную полностью автоматическую систему комбинированного напыления.

Преимущества и особенности напылительных систем серии VS:

■ Электрополированная камера из нержавеющей стали (опция – водяное охлаждение)
■ Фронтальная дверь обеспечивает удобный доступ ко всей оснастки внутри вакуумной камеры
■ Вакуумное окно на двери вакуумной камеры
■ Безмаслянный турбомолекулярный насос
■ Пластинчато-роторный или безмаслянный спиральный форвакуумный насос
■ Широкодиапазонный вакуумметр немецкого производства на диапазон от 1 атм до 10-9 мм.рт.ст.
■ Регулируемая подача газов с помощью ручных натекателей ( в модели VS-100)
■ Регулируемая подача газов с помощью регуляторов расхода газа (в моделях VS-100, VS-200)
■ Монитор для отображения скорости напыления и толщины плёнки (в модели VS-100)
■ Контроллер для измерения скорости напыления и толщины плёнки (в моделях VS-200, VS-300)
■ Плоский невращающийся, вращающийся или планетарный подложкодержатель
■ Куполообразный невращающейся, вращающийся и планетарный подложкодержатель
■ Смещение потенциала на подложкодержателе
■ Нагрев подложкодержателя до 250°С, 400°С, 600°С или 900°С
■ Возможность установки ионной пушки для ассистирования ионным пучком во время напыления (в сериях VSE, VSR)
■ Одновременное напыление с нескольких источников напыления.
■ Магнетроны с диаметром мишени 50, 75 или 100 мм (в серии VSM)
■ Разные типы источников питания для магнетронов: ВЧ или СЧ генератор, БП постоянного тока, импульсный БП.


Если среди вышеописанных PVD или CVD систем Вы не нашли ту, которая наиболее полно решала бы стоящие перед Вами задачи, то, пожалуйста, обратитесь к нашим специалистам, и под заказ, под требования заказчика будет изготовлена система, в которой будут учтены все Ваши пожелания. Для отправки запроса нажмите «ЗАПРОС» в меню.