|
Подробное техническое описание цифрового контроллера потока газа для вакуумных систем серии MCE
Описание серии
Цифровые контроллеры потока газа серии MCE, производимые компанией Alicat Scientific, осуществляют точное управление массовым расходом, объемным расходом и давлением технологических газов. Технические характеристики такие же, как у других контроллеров потока газа, производимых компанией. В соответствии с требованиями международной ассоциации SEMI в расходомерных трубках (в исходящем канале) установлены быстродействующие пропорционально регулирующие клапаны.
В контроллерах потока газа серий MCE производства компании Alicat применяется запатентованная, внутренне сбалансированная, технология измерения перепада давления ламинарного потока, позволяющая вычислять значения расхода, линейно зависимые от перепада давления, в очень широком диапазоне. Прибор отображает значения объемного и массового расхода, скорректированные с учетом изменений давления и температуры газа, также учитывающие заданные пользователем нормальные температуру и давление. В отношении каждого устройства компания реализует программу многосторонней технической поддержки, включая бесплатную техническую поддержку по телефону, оперативное проведение повторной калибровки и гарантию на весь срок службы.
Контроллеры потока газа серии серий MCE производства компании Alicat оснащены большими встроенными дисплеями с сенсорными панелями, при помощи которых оператор может выбрать необходимую калибровку, отрегулировать уставку, а также изменять настройки ПИД-регулятора, управляющего работой клапана. Прекрасные рабочие характеристики прибора (достижимая точность 0.4%, повторяемость 0.2% от полной шкалы и время отклика элемента управления <100 мс) обеспечивают оптимальную эффективность приложений, связанных с управлением потоками газа. Устройства также оснащены как аналоговым, так и цифровым (RS232) интерфейсами. Помимо этого, возможны другие модификации приборов, включая устройства с сертификацией согласно стандартам ATEX/CSA (класс 1, Div 2) для применения в опасной окружающей среде.
Применение
Контроллеры потока газа серии MCE производства компании Alicat Scientific находят применение в приложениях, где необходимым требованием является соответствие оборудования стандартам SEMI, а именно в полупроводниковой промышленности, а также в процессах, связанных с вакуумным напылением. Контроллеры серии MCE наиболее подходят для низкого вакуума. Благодаря отличным техническим характеристикам (возможность одновременного измерения сразу нескольких величин, многофункциональное управление, наличие калибровок для большого количества газов, отношение верхнего предела измерения к нижнему 200:1) контроллер потока газа можно применять в качестве универсального элемента управления, отказавшись от использования нескольких специализированных устройств.
Диапазон измерений устройств серии MCE варьируется от 0-0.5 ст.см3/мин до 0-20 ст.л./мин.
Технические характеристики контроллеров потока газа Alicat MCE и MCЕS
Рабочие характеристики |
Контроллер потока газа MCE |
Контроллер потока газа MCES |
| Точность измерения по завершении тарирования |
± (0.6% от показания + 0.1% от полной шкалы) |
| Высокая точность измерения по завершении тарирования |
± (0.5% от показания + 0.1% от полной шкалы)
|
| Повторяемость |
± 0.2% от полной шкалы |
| Смещение начальной и конечной точки |
0.02% от полной шкалы / по Цельсию / атм |
| Рабочий диапазон / Отношение верхнего предела измерения к нижнему |
от 0.1% до 100% от полной шкалы / 200:1 (отношение верхнего предела измерения к нижнему) |
от 1% до 100% от полной шкалы / 100:1 (отношение верхнего предела измерения к нижнему) |
| Типовое время отклика |
50-100 мс (настраиваемая величина) |
| Время готовности к работе |
< 1 секунды |
Эксплуатационные условия |
Контроллер потока газа MCE |
Контроллер потока газа MCES |
| Нормальные условия эксплуатации (нормальные температура и давление) |
25ºC и абсолютное давление 1 атм |
| Рабочая температура |
от −10 до +60 º по Цельсию |
| Диапазон значений влажности (без конденсации) |
от 0 до 100% |
| Максимальное давление |
манометрическое давление 145 фунт-сила/дюйм2 |
| Чувствительность к положению при монтаже |
отсутствует |
| Тип клапана |
нормально закрытый |
| Степень защиты от воздействия окружающей среды |
IP40 |
| Материалы, контактирующие с измеряемой средой |
MCE: 316L, нержавеющая сталь 302, 303 и 304 Viton® (эластомер), силикон RTV (эластомер), армированный стекловолокном нейлон, алюминий, латунь, нержавеющая сталь 430FR, кремний, стекло, PCTFE (полихлортрифторэтилен).
MCES: 316L, 303SS, 430FRSS, перфтор-каучук FFKM (Kalrez) стандартно, Viton (эластомер), EPDM (этилен-пропиленовый каучук), Buna (синтетический каучук), неопрен для некоторых газов.
Если в вашем приложении требуется использование других материалов, пожалуйста, свяжитесь с компанией АКТАН ВАКУУМ. |
Передача данных / Источник питания |
Контроллер потока газа MCV |
Контроллер потока газа MCVS |
| Монохромный ЖКД либо цветной ЖКД на тонкопленочных транзисторах со встроенной сенсорной панелью |
Одновременно отображает значения массового расхода, объемного расхода, давления и температуры |
| Цифровой выходной сигнал (возможные варианты)1 |
последовательный интерфейс RS-232 / последовательный интерфейс RS-485 / PROFIBUS3 |
| Аналоговый выходной сигнал (возможные варианты)2 |
0-5 В постоянного тока / 1-5 В постоянного тока / 0-10 В постоянного тока / 4-20 мА |
| Второй аналоговый выходной сигнал, поставляемый по отдельному заказу2 |
0-5 В постоянного тока / 1-5 В постоянного тока / 0-10 В постоянного тока / 4-20 мА |
| Варианты электрического соединения |
8-контактный разъем Mini-DIN / 9-контактный разъем D-sub (DB9) / 15-контактный разъем D-sub (DB15) / 6-контактный электрический разъем |
| Напряжение источника питания |
от 12 до 30 В постоянного тока (15-30 В постоянного тока для выходов 4-20 мА) |
| Ток источника питания |
0.250 А |
|
1 Цифровой выходной сигнал передает информацию о массовом расходе, объемном расходе, давлении и температуре.
2 Аналоговый выходной сигнал и второй аналоговый выходной сигнал, поставляемый по отдельному заказу, передают информацию о Вашем выборе массового расхода, объемного расхода, давления либо температуры.
3 В системе PROFIBUS не доступен аналоговый сигнал. Устройства PROFIBUS не оборудованы дисплеем. См. технические характеристики PROFIBUS для того, чтобы получить информацию о напряжении и силе тока источника питания для PROFIBUS
|
Свойства регуляторов потока газа для полупроводниковых (MCE) приложений:
- измерение массового и объемного расхода, а также абсолютного давления и температуры потока газа
- точное регулирование подачи потока газа в диапазоне от 0-10 sccm до 0-20 slpm
- Диапазон регулирования: 0.1% - 100% от полной шкалы (диапазон отображения 0.01% - 100% от полной шкалы).
- Точность измерения 0.1% от полной шкалы + 0.6% от считываемого значения (0.4% опционно)
- самая высокая скорость отклика среди всех выпускаемых РРГ: 50-100 мс
- запатентованный принцип работы на основе измерения перепада давления ламинарного потока, не требуется время для прогрева
- отсутствие нагревательных элементов, высокая надежность
- более 130 предустановленных калибровок, а также возможность заказать калибровку по нестандартной смеси или газу
- VCR порты для подсоединени газовых линий (опционно приваренные обжимные фиттинги под трубку 1/4")
- наличие цифрового RS-485 и аналогового выходов
- большое количество опций для заказа
| Все расходомеры и регуляторы расхода газов Alicat по умолчанию откалиброваны более чем на 130 газов: |
Чистые некоррозионные газы
(Pure non-corrosive gases) |
C2H2, воздух, Ar, i-C4H10, n-C4H10, CO2, CO, D2, C2H6, C2H4, He, H2, Kr, CH4, Ne, N2, N2O, O2, C3H8, SF6, Xe |
Чистые коррозионные газы
(Pure corrosives gases) |
NH3, 1Butene, cButene, iButene, tButene, COS, Cl2, CH3OCH3, H2S, NF3, NO, C3H6, SiH4, SO2 |
Охлаждающие газы
(Refrigerants) |
R-11, R-115, R-116, R-124, R-125, R-134A, R-14, R-142b, R-143a, R-152a, R-22, R-23, R-32, RC-318, R-404A, R-407C, R-410A, R-507A |
Дыхательные газы
(Breathing gases) |
EAN-32, EAN, EAN-40, HeOx-20, HeOx-21, HeOx-30, HeOx-40, HeOx-50, HeOx-60, HeOx-80, HeOx-99, EA-40, EA-60, EA-80, Metabol |
Биореактивные газы
(Bioreactor gases) |
Bio-5M, Bio-10M, Bio-15M, Bio-20M, Bio-25M, Bio-30M, Bio-35M, Bio-40M, Bio-45M, Bio-50M, Bio-55M, Bio-60M, Bio-65M, Bio-70M, Bio-75M, Bio-80M, Bio-85M, Bio-90M, Bio-95M |
Топливные газы
(Fuel gases) |
Syn Gas-1, Syn Gas-2, Syn Gas-3, Syn Gas-4, Nat Gas-1, Nat Gas-2, Nat Gas-3, Coal Gas, Endo, HHO, HD-5, HD-10 |
Хроматографические газы
(Chromatography gases) |
P-5, P-10 |
Лазерные газы
(Laser gases) |
LG-4.5, LG-6, LG-7, LG-9, HeNe-9, LG-9.4 |
Сварочные газы
(Welding gases) |
C-2, C-8, C-10, C-15, C-20, C-25, C-50, C-75, He-25, He-50, He-75, He-90, A1025, Star29 |
Газы, концентрирующие кислород
(O2 Concentrator gases) |
OCG-89, OCG-93, OCG-95 |
Топочные газы
(Stack gases) |
FG-1, FG-2, FG-3, FG-4, FG-5, FG-6 |
| Подробнее со Списком предустановленных газов вы можете ознакомиться, перейдя по ссылке |
Технические характеристики, соответствующие различным диапазонам
Предельное показание шкалы контроллера потока газа |
Размеры прибора |
Технологические соединения |
| MCE от 0.5 ст.см3/мин до 20 ст.л./мин |
4.8”В x 6.8”Ш x 1.5”Г |
наружная резьба 1/4” VCR® |
| MCES от 0.5 ст.см3/мин до 20 ст.л./мин |
5.5”В x 6.8”Ш x 1.5”Г |
наружная резьба 1/4” VCR® |
| Для версий MCV и MCVS рекомендовано использование сварных технологических соединений VCR®. Пожалуйста, свяжитесь с компанией АКТАН ВАКУУМ.
|
|
Модель |
Диапазон работы |
Ед. измерения |
Технологические соединения |
MCE-0.5SCCM-D |
0,0025 - 0,5 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-1SCCM-D |
0,005 - 1 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-2SCCM-D |
0,01 - 2 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-5SCCM-D |
0,025 - 5 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-10SCCM-D |
0,05 - 10 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-20SCCM-D |
0,1 - 20 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MCE-50SCCM-D |
0,25 - 50 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-100SCCM-D |
0,5- 100 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-200SCCM-D |
1 - 200 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-500SCCM-D |
2,5 - 500 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-1SLPM-D |
0,005 - 1 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-2SLPM-D |
0,01 - 2 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-5SLPM-D |
0,025 - 5 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-10SLPM-D |
0,05 - 10 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCE-20SLPM-D |
0,01 - 20 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-0.5SCCM-D |
0,025 - 0,5 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-1SCCM-D |
0,005 - 1 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-2SCCM-D |
0,01 - 2 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-5SCCM-D |
0,025 - 5 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-10SCCM-D |
0,05 - 10 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-20SCCM-D |
0,1 - 20 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-50SCCM-D |
0,25 - 50 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-100SCCM-D |
0,5 - 100 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-200SCCM-D |
1 - 200 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-500SCCM-D |
2,5 - 500 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-1SLPM-D |
0,005 - 1 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-2SLPM-D |
0,01 - 2 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-5SLPM-D |
0,025 - 5 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-10SLPM-D |
0,05 - 10 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCES-20SLPM-D |
0,1 - 20 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
Применение расходомеров и контроллеров потока газа, жидкости компании ALICAT SCIENTIFIC:
1. Надёжная поставка воздуха для автоматических систем покраски.
2. Контроль расхода газа для напыляющей плазменной установки.
3. TIG (сварка вольфрамовым электродом в инертном газе).
4. Быстрая проверка оборудования на наличие течи.
|
|
2015-2020 
