|
|
|
оборудование и компоненты для вакуумных напылительных и плазменных технологий
|
|
|
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ, PECVD СИСТЕМЫ,
КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ИХ СОЗДАНИЯ, И СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ ТОНКИХ ПЛЁНОК.
Компания АКТАН поставляет широкую линейку напылительных систем – от настольных лабораторных до промышленных, с диаметром камеры от 15 см до 4 м. Поставляемые компоненты для напылительных установок позволят создать надёжные системы, работающие в промышленности в массовом производстве изделий. Системы анализа тонких плёнок позволят отработать техпроцесс и использовать для выходного контроля готовой продукции.
|
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ
|
ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
СИСТЕМЫ ДЛЯ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ
В ОПТИКЕ
 Серийно выпускаемые
вакуумные напылительные системы
серии ORIOLE с размером от 40 см до 4 метров, с надёжными электронно-лучевыми источниками, работающие в полностью автоматическом режиме – лучший выбор для напыления на линзы, оптические фильтры и зеркала в лазерных и оптических приложениях. Устанавливаемые опционно резистивные испарители и магнетроны, нагреватели, современная система автоматизации обеспечивают получение сложных оптических покрытий. Вакуумные
напылительные установки позволяют получать уникально высокое качество напыляемых оптических слоев, погрешность составляет не более 1% от расчетного значения при 40-50 слоях.
|
|
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
PATHFINDER И VACLEADER
СРЕДНЕЙ И ВЫСОКОЙ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ
 Вакуумные напылительные системы PATHFINDER и
VACLEADER – лучший выбор в приложениях, где требуется высокие надежность, равномерность плёнки и повторяемость параметров. Большой набор опций обеспечит проведение самого сложного и требовательного техпроцесса. Многоуровневая система автоматизации позволит провести техпроцесс пошагово или в полностью автоматическом режиме.
Вакуумные напылительные установки VACLEADER предназначены для работы в промышленности.
PATHFINDER -
универсальные автоматические напылительные установки с магнетронным,
дуговым, резистивным и электронно-лучевым напылением для лаборатории
и мелкосерийного производства.
|
ЛАБОРАТОРНЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ SMARTLAB С МАГНЕТРОННЫМ ИЛИ РЕЗИСТИВНЫМ НАПЫЛЕНИЕМ
Напылительная установка SMARTLAB
 предназначена для вакуумного магнетронного или резистивного распыления металлов и диэлектриков в научных целях. Вакуумная установка
SMARLAB компактна, проста в работе и обслуживании, доступна по цене. Установка работает в ручном (в базовом варианте) или автоматическом режиме под управлением ПЛК и программы с удобным цветным графическим интерфейсом.
Большое количества опций удовлетворит большинство требований современной лаборатории, и позволит заказать установку в пределах бюджета любой лаборатории.
|
|
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ МАЛОЙ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ ДЛЯ МЕЛКОСЕРИЙНОГО ПРОИЗВОДСТВА И ЛАБОРАТОРИЙ
Серия VS - компактные напылительные установки с камерой D-формы, с поперечным размером
 камеры от 30- 40 см, с фронтальной дверью.
Типы напыления:
VSM – магнетронное
VSE - ЭЛИ
VSR – резистивное
VS-Combo – вакуумная
напылительная система с разной комбинацией вышеперечисленных источников напыления.
Выпускаемые с ручным (кнопочным) управлением, в полуавтоматическом или полностью автоматическом исполнении, данные недорогие вакуумные напылительные системы будут идеальным выбором для лаборатории или мелкосерийного производства.
|
ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ СПЕЦИФИЧЕСКИХ ПРИЛОЖЕНИЙ
 ADVAVAC-160 Вакуумная напылительная установка барабанного типа для
резистивного испарения тонких металлических пленок.
ADVAVAC-ARC160 Вакуумная напылительная система с дуговыми
источниками.
ADVAVAC-AUTOMIRROR-250 Магнетронная напылительная система для
автомобильных зеркал
ADVAVAC-2300E Промышленная вакуумная система напыления алюминия
IB-COATER-2000
Система распыления (и травления) мишени ионным
пучком и напыления
|
ВАКУУМНЫЕ МАГНЕТРОННЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
НЕПРЕРЫВНОГО ЦИКЛА
Вакуумные магнетронные
напылительные
системы непрерывного типа разработаны для напыления металлических, оксидных (нитридных) пленок на плоские поверхности из стекла, пластика или металла. Могут быть как вертикального, так и горизонтального типа.
Величина и конфигурация систем подбираются под требования технологии заказчика.
|
|
ВАКУУМНЫЕ МАГНЕТРОННЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
СИСТЕМЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ
 Вакуумная
напылительная установка предназначена для напыления тонких токопроводящих слоёв на образцы перед их исследованием на растровых электронных микроскопах, с предварительной очисткой поверхности с помощью травления (опция). Полностью автоматическое управление. Установка за 3 мин. обеспечивает напыление проводящего слоя толщиной 100А (10 нм). Опция - блок распыления углерода (стержень или нить). |
|
PECVD УСТАНОВКИ
|
АВТОМАТИЧЕСКАЯ УНИВЕРСАЛЬНАЯ
PECVD СИСТЕМА UNIV6-PECVD
 PECVD система
UNIV6-PECVD плазменно-стимулированного осаждения из газовой фазы с нагревом в ВЧ или СВЧ поле предназначена для выращивания монокристаллов и различных типов плёнок (поликристаллических или монокристаллических). UNIV6-PECVD предлагает исследователям и разработчикам микро- и наноструктур наиболее широкий диапазон возможностей из предлагаемых сегодня на рынке систем плазмо-химического осаждения из газовой фазы: регулируемая подача 6 газов, нагрев подложкодержателя до 1400 С, ВЧ или СВЧ блок питания, т.д. При использовании соответствующих газов возможно проводить осаждение монокристаллов и поликристаллических плёнок следующих материалов: диоксид кремния (Si02), нитрид кремния (SiN4, SiN), аморфный кремний, окси-нитрид кремния (silicon oxy nitride), карбид кремния (SiC), алмазные плёнки (с ультронано-, нано- и микрокристаллической структурой) и монокристаллы алмазы, и другие. |
|
АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ ШЛЮЗОВАЯ CИСТЕМА ПЛАЗМОСТИМУЛИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ 200-PECVD
Установка позволяет проводить плазмохимическое осаждение из газовой фазы на пластин диаметром до 200 мм с поштучной подачей пластин из шлюзовой камеры. ВЧ-генератор для стимулирования плазмы, подогреваемый или охлаждаемый подложкодержатель, система подачи 4 газов, высокопроизводительные средства откачки. Данная PECVD система работает в полностью автоматическом режиме. Система предназначена для промышленного использования, и может работать 7 дней в неделю, 24 часа в день
|
НАСТОЛЬНАЯ ЛАБОРАТОРНАЯ PECVD СИСТЕМА
 FUTURE-PHD-100 (200) –
настольные лабораторные PECVD системы (100- с кнопочным управлением, 200 – автоматическая). Подача 4 газов, подложкодержатель с регулируемым нагревом, водоохлаждаемая рабочая камера, несколько фланцев с вакуумным окнами и запасные (заглушенные) фланцы на камере, ВЧ блок питания небольшой мощности.
Предназначена для обучения студентов или отработки новых технологических процессов.
|
|
Компоненты для создания вакуумных напылительных и плазменных систем
|
МОНИТОРЫ И КОНТРОЛЛЕРЫ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ И ТОЛЩИНЫ ПЛЁНОК
Поставляемые контроллеры и мониторы для измерения скорости напыления и толщины плёнок позволят автоматизировать любую систему вакуумного напыления – от простой недорогой лабораторной напылительной системы до промышленной.
|
|
ВАКУУМНЫЕ ДАТЧИКИ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ И ТОЛЩИНЫ ПЛЁНОК (КВАРЦЕВЫЕ
МИКРОВЕСЫ)
Поставляемые нами держатели кварцевых сенсоров для измерения скорости напыления и толщины плёнки (кварцевые микровесы) производятся в США, надёжные в работе, лёгко обслуживаются, и при этом имеют привлекательную цену. Возможно изготовление на заказ под вашу задачу.
|
МАГНЕТРОНЫ И БЛОКИ ПИТАНИЯ
МАГНЕТРОНОВ (ПОСТОЯННОГО ТОКА И ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ)
Компания АКТАН поставляет линейку магнетронов для распыления мишеней размером от 2 до 8 дюймов (от 50 до 200 мм). Магнетроны могут работать с блоками питания постоянного тока, высокочастотными генераторами, среднечастотными генераторами, импульсными блоками питания.
Поставляемые нами блоки питания постоянного тока для магнетронов и ВЧ-генераторы обеспечат стабильную работу магнетронов и всей вакуумной напылительной системы.
|
|
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ИСПАРИТЕЛИ, БЛОКИ
ПИТАНИЯ И УПРАВЛЕНИЯ ДЛЯ ЭЛИ
Мы поставляет широкую линейку электронно-лучевых испарителей для вакуумных напылительных систем под собственным брендом, изготавливаемую для нас в Германии в соответствии с договорённостью с ведущим производителем электронно-лучевых систем. Поставляемое нами оборудование заработало репутацию очень надежного оборудования в самых ответственных приложениях по получению тонких пленок: МЭМС и полупроводниковая промышленность, нанотехнологии, оптические пленки. АКТАН поставляет электронно-лучевые источники испарения с одним или несколькими тиглями, высоковольтные блоки питания для электронно-лучевых испарителей, блоки управления для ЭЛИ.
|
КВАРЦЕВЫЕ КРИСТАЛЛЫ ДЛЯ ДАТЧИКОВ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ
Поставляемые кварцевые кристаллы позволяют заменить кристаллы практически всех известных брендов: 6 МГц/14 мм, 5 МГц/14 мм, 5 МГц/12.5 мм. Кристаллы предлагаются со стандартными покрытиями электродов: золото/хром, серебро/хром, сплав алюминия, а также кристаллы из фосфата галлия (gallium phosphate, GaPO4).
Мы поставляем кварцевые кристаллы для разных специфических приложений по вакуумному осаждению тонких плёнок: прогреваемые кристаллы ThermaHead™ обеспечивают в 3 раза больший срок для нанесения оптических материалов, кристаллы серии RC™ не дают флуктуаций скорости напыления из-за теплового излучения источника напыления, а кристаллы из фосфата галлия позволяют проводить измерения скорости напыления вплоть до 900°C.
|
|
НАГРЕВАЕМЫЕ ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛИ ДЛЯ
ВАКУУМНЫХ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ
Нагреваемые подложкодержатели для магнетронного распыления выпускаются в двух версиях:
1) для крепления образцов и
2) для крепления пластин.
Максимальная температура нагрева составляет 950 ºС.
Используются источники питания переменного или постоянного тока.
|
ДРОССЕЛЬНЫЕ ЗАСЛОНКИ ДЛЯ
ДРОССЕЛИРОВАНИЯ СКОРОСТИ ОТКАЧКИ В ВАКУУМНЫХ МАГНЕТРОННЫХ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМАХ
Номинальная скорость откачки высоковакуумных насосов как правило проходит при давлениях, меньших чем давления, при которых идут плазменные процессы. Дросселируя с помощью дроссельной заслонки газовый поток на входе в высоковакуумный насос, получают давление в камере (перед заслонкой), при котором может нормально протекать плазменный процесс, а за заслонкой – давление, при котором высоковакуумный насос работает в номинальной режиме.
|
|
АНАЛИЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Системы измерения напряжения тонких плёнок.
Системы картографирования толщины пленок.
Установки видеоконтроля и измерения тонкопленочных покрытий.
Система картографирования сопротивления
поверхностного слоя и тока утечки FSM RsL200/300.
Система измерения FSM RTH профиля поверхности с
построением трехмерного изображения.
|
|
|
|
|
