УНИВЕРСАЛЬНАЯ НАПЫЛИТЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА PATHFINDER

■  Магнетронное напыления
■  Электронно-лучевого напыление
■  Резистивного испарение
■  Ионного распыление
■  Напыление с ассистированием ионным пучком (Ion Assisted
  Deposition)

PATHFINDER – серия универсальных автоматических напылительных установок с магнетронным, дуговым, резистивным и электронно-лучевым напылением для лаборатории и мелкосерийного производства. Средний размер камеры (40 см), большое количество опций, удобное программное обеспечение, работа в полностью автоматическом или пошаговом режиме. Система PATHFINDER - лучший выбор для научно-исследовательских работ в области нанесения тонких плёнок вакуумными методами. Данная вакуумная напылительная установка может быть сконфигурирована для всех вышеперечисленных методов напыления или их различных комбинаций. Установка PATHFINDER отличается очень высокой надежностью, так как была разработана для научно-исследовательских работ, получения пилотных образцов и их последующего серийного производства в самых высокотехнологичных отраслях промышленности: полупроводниковой, оптической, а также для изучения трибологических и других свойств поверхности.

В установку PATHFINDER интегрирована хорошо зарекомендовавшая система управления, использующаяся в вакуумных напылительных установках VACLEADER (работающих в промышленности), но с расширенной функциональностью, присущей научно-исследовательским работам. Для высоковакуумной откачки в напылительной системе Explorer может использоваться криовакуумный или турбомолекулярный насос, подсоединяемые снизу или к задней стороне вакуумной камеры. Поставляемый в стандартной конфигурации форвакуумный масляный пластинчато-роторный насос может быть заменен на безмасляный спиральный. В стандартную комплектацию установки входит камера из нержавеющей стали шириной 40 см (высота определяется от используемых средств откачки и приложения).

Все узлы и компоненты установки грамотно смонтированы в рабочей камере и управляющей стойке, доступ к управляющим элементам удобный, программное обеспечение интуитивно понятное и не требует никаких специальных предварительных знаний по работе с компьютером. Система выпускается серийно, таким образом все недоработки и ошибки, присущие новым система, давно убраны. Единственное, над чем остается думать исследователю – над задачами в области напыления тонких пленок, а вакуумная напылительная система PATHFINDER будет ему в этом лучшим помощником!

Магнетронная напылительная установка PATHFINDER
 
Когда вы выбираете вакуумную магнетронную напылительную установку PATHFINDER, вы получаете доступ к огромному опыту многих лет по использованию технологии магнетронного напыления и производству вакуумных магнетронных напылительных установок.

Опции, доступные с установкой PATHFINDER

Вакуумная камера, изготовленная с учётом требований конкретной технологической задачи, может содержать следующие опции: несколько запасных вакуумных портов; шлюзовая камера, водяное охлаждение или нагрев стенок камеры; к камере могут быть подсоединены разные аналитические инструменты, дополнительные токовводы и вводы движения.
• Загрузочная камера (несколько разных типов)
• Одновременное напыление с нескольких мишеней.
•  Разные типы источников питания для магнетронов: ВЧ или СЧ генератор, БП постоянного тока, импульсный БП.
• ВЧ смещение на подложкодержателе
• Нагрев подложкодержателя до 900°С
• Программное обеспечение, позволяющее установке работать в полностью автоматическом или пошаговом режимах
• Разные типы планетарных механизмов (плоские, куполообразные, охлаждаемые или нагреваемые)

Возможные конфигурации магнетронного узла
•  1, 2 или 3 магнетрона
•  Катоды размером 2”, 3” или 4” (50, 75 или 100 мм)
•  Улучшенная конструкция для распыления толстых магнитных мишеней
•  магнетроны для работы в высоком вакууме
•  отжигаемые магнетроны
•  балансированные или разбалансированные магнетроны
•  магнетрон, работающий в дуальном режиме
•  магнетрон для распыления сверхтонких мишеней (сотые доли мм)
•  регулировка высоты магнетрона
•  прямое или непрямое охлаждение магнетрона
•  Возможность регулировки угла наклона магнетрона с целью изменения угла
   соударения между направлением  распыляемых атомов и подложкой.  

Вакуумная напылительная установка PATHFINDER для электронно-лучевого или резистивного испарения.

Компания ADVAVAC имеет большой опыт в создании установок для процессов нанесения тонких плёнок металлов и оксидов методом термического испарения материалов. Решая задачи для новых приложений, инженеры компании постоянно улучшают базовую конфигурацию напылительной установки PATHFINDER, добавляют новые опции, расширяют и улучшают ее функциональность. Если у вас есть вопросы или сомнения при конфигурировании установки, обратитесь к специалистам компании АКТАН, и мы, совместно с инженерами компании ADVAVAC, предложим оптимальное решение, полностью удовлетворяющее ваши запросы.

Типичные приложения
■  Исследования материалов
■  Напыление с ассистированием ионным пучком (IAD)
■  Медицинские инструменты
■  Телекоммуникация
■  Производство CD
■  Взрывная (обратная) литография
■  Защитное напыление
■  Оптические интерференционные покрытия

Если среди вышеописанных PVD или CVD систем Вы не нашли ту, которая наиболее полно решала бы стоящие перед Вами задачи, то, пожалуйста, обратитесь к нашим специалистам, и под заказ, под требования заказчика будет изготовлена система, в которой будут учтены все Ваши пожелания. Для отправки запроса нажмите «ЗАПРОС» в меню или ссылку «ЗАПРОС ОБОРУДОВАНИЯ» справа вверху страницы.