ЛАБОРАТОРНАЯ СИСТЕМА SMARTLAB

Установка предназначена для вакуумного магнетронного или резистивного напыления металлов и диэлектриков в научных целях. Отличительной особенностью установки является простота работы, компактность, недорогая стоимость.
Установка работает в ручном (в базовом варианте) или автоматическом режиме под управлением ПЛК и программы, имеющей удобный цветной графический интерфейс. Фронтальная дверь с небольшим вакуумным окном облегчит загрузку-выгрузку образцов. Большое количества опций (вращающийся подложкодержатель, нагрев, измеритель толщины, регуляторы расхода газа, чистка плазменным разрядом) удовлетворит большинство требований современной лаборатории, и позволит заказать установку в пределах бюджета любой лаборатории.

Преимущества серии лабораторных напылительных установок SMARTLAB.

■ Камера из электрополированной нержавеющей стали (по умолчанию – горизонтальная цилиндирческая, опционно – вертикальная цилиндрическая (как показано на рисунке))
■ Фронтальная дверь с вакуумным окном
■ Безмасляный турбомолекулярный насос
■ Пластинчато-роторный или безмасляный форвакуумный насос
■ Широкодиапазонный вакуумметр на диапазон от 1 атм до 10-⁹ мм.рт.ст.
■ Ручное или автоматическое управление
■ Неподвижный или вращающийся столик
■ Нагреваемый подложкодержатель
■ Чистка образцов плазменным разрядом
■ Измеритель толщины
■ Ручной натекатель газа или цифровой регулятор расхода газа (до 3-х РРГ: аргон и два газа)
 

МАГНЕТРОННАЯ НАПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА SMARTLAB-M.

• 1, 2 или 3 магнетрона с заслонками
Магнетроны закреплены на верхней съёмной крышке, что облегчает смену мишеней и обслуживание камеры.
• Блок питания (1 или 2) для распыления металлов и (или) блок питания (1 или 2) для распыления диэлектриков. Параллельное или последовательное распыление мишеней.

НАПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА РЕЗИСТИВНОГО ИСПАРЕНИЯ SMARTLAB-R

• 1, 2 или 3 резистивных испарителя с заслонками.
Установка предназначена для вакуумного резистивного распыления материалов в научных целях и комплектуется одним блоком питания.

Если среди вышеописанных PVD или CVD систем Вы не нашли ту, которая наиболее полно решала бы стоящие перед Вами задачи, то, пожалуйста, обратитесь к нашим специалистам, и под заказ, под требования заказчика будет изготовлена система, в которой будут учтены все Ваши пожелания. Для отправки запроса нажмите «ЗАПРОС» в меню.