SmartlineTM серия вакуумных датчиков.
Smartline - новое поколение вакуумных датчиков
Вакуумные измерения на базе микропроцессорной технологии.
Семейство устройств Smartline™ с диапазоном измерений от 1000 до 5 x 10-10 мбар (=гПа, от 750 до 5 x 10-10 торр), вакуумными преобразователями (трансмиттер) и блоками контроля и индикации отвечают высочайшим требованиям к функциональности, простоты эксплуатации и надежности.
Вакуумные преобразователи (трансмиттеры) семейства устройств Smartline™ предлагают
• интерфейс RS485 и вспомогательный выход 0-10 В или опциональный EtherCAT
• устройства THYRACONT на базе датчиков Пирани с расширенным диапазоном измерений, активизируют ионизационные датчики при давлении менее порогового значения Это позволяет защитить датчики и увеличить срок службы вакуумметра
• опционально большой графический ЖК дисплей с задней подсветкой
• микропроцессорная система автоматически выполняет контроль за датчиками Это обеспечивает оптимальную взаимосвязь между датчиками Пирани и ионизационными датчиками без вмешательства оператора
• компактные измерительные элементы в металлической оболочке
• максимальная готовность вашего оборудования за счет сменных головок датчиков
Типовые сферы применения вакуумных датчиков серии Smartline®
• Технологии нанесения покрытия
• Вакуумные топки
• Металлургия
• Аналитическое оборудование
• Лиофилизация
• Тонкопленочные испарители
Мы с радостью внедряем передовые разработки для улучшения технологии вакуумных измерений. Новое поколение устройств Smartline устанавливает высочайший стандарт точности, надежности и функциональности.
Оправданная износостойкость
Устройства THYRACONT на базе датчиков Пирани с расширенным диапазоном измерений, активация ионизационных датчиков при давлении менее порогового значения. Это позволяет защитить датчики и увеличить срок службы вакуумметра.
Надежный обмен данными
Обмен данными последних измерительных преобразователей реализован на базе интерфейса RS485 и вспомогательного выхода 0-10 В или EtherCAT.
Время-деньги
Микропроцессорная система Smartline автоматически выполняет контроль за датчиками. Это обеспечивает оптимальную взаимосвязь между датчиками Пирани и ионизационными датчиками без вмешательства оператора.
Другие преимущества использования Smartline:
• Большой ЖК дисплей (в качестве опции)
• Компактные датчики в металлической оболочке
• Низкий уровень воздействия на вакуумный процесс температуры и помех
• Невосприимчивость к резкому сбросу давления
• Сменные головки датчика
• Точное измерение давления за счет использования поправочных коэффициентов для разного типа газов для каждого датчика
Комбинированный вакуумный датчик VSR от 1200 до 1 x 10-4 мбар Пьезорезистивный / Пирани
Пример применения
Нитрид кремния используется для производства полупроводниковых элементов в качестве изолирующих или предохраняющих изделий. Нанесение выполняют путем химического парофазного осаждения PECVD (усиленный плазмой CVD) или LPCVD (CVD при пониженном давлении). Подача происходит через загрузочный шлюз. при поддержке уровня вакуума в камере от 10-2 до 1 мбар.
Задача
При откачке воздуха из шлюза необходим тщательный контроль давления для оперативной подачи кристаллической пластины в камеру, где происходит нанесение. По завершении процесса пластина возвращается в загрузочный шлюз. После возврата уровня давления до атмосферного и разблокировки дверцы пластина может быть извлечена. Для данного процесса весьма важна быстрая скорость взаимодействия элементов измерительной системы.
Решение
Давление в загрузочном шлюзе отслеживается с помощью вакуумного измерительного преобразователя VSR с комбинированным датчиком (пьезорезистивный/Пирани) для высокоточного измерения давлений от 1200 до 1 x 10-4 мбар. Точное измерение давления используется для процесса открывания камеры, определяя нужный момент времени для открытия по достижении атмосферного давления. Быстрое время отклика и точное измерение давления позволяют использовать VSR для оперативного управления дверцей, делая возможным выполнение операций в кратчайший цикл. Выдающаяся стабильность работы практически необслуживаемых преобразователей на протяженности длительного времени работы.
Применение
• Аналитическое оборудование
• Вакуумные топки
• Технологии нанесения покрытия
• Проверка предварительных насосов
Вакуумный датчик VSP от 1000 до 1 x 10-4 мбар Пирани
Пример применения
Пластиковые изделия с металлическим покрытием, предназначенным как для улучшения внешнего вида или экранирования компонентов чувствительных к помехам.
Задача
Металлизация осуществляется посредством процесса напыления конденсацией из паровой фазы (PVD). Вакуумирование перепускной линии до давления 10-2 мбар выполняют посредством роторно-лопастного насоса. Затем присоединяют турбомолекулярный насос, который понижает уровень давления до 10-5 мбар. Состояние вакуума в ходе процесса напыления, которое выполняют при 2 x 10-4 мбар, подвергается тщательному контролю в ходе процесса, что позволяет обеспечить высокое качество покрытия. Также необходимо отслеживать давление в перепускной линии и уровень давления предварительного разрежения во избежание перегрузок турбомолекулярного насоса, происходящих, например, при подключении его к системе с давлением вне рабочего диапазона.
Решение
С помощью измерительных преобразователей VSP (Пирани) осуществляют контроль давления в перепускной линии для правильного подключения турбомолекулярного насоса. Другой VSP отслеживает уровень давления предварительного разряжения непосредственно на турбомолекулярном насосе. С помощью преобразователя VSM с широким диапазоном измерений выполняют измерение уровня глубокого вакуума в системе, а также изменения давления во время процесса покрытия. Многоканальный блок контроля и индикации VD10 используется в качестве центрального модуля управления.
Применение
• Аналитическое оборудование
• Вакуумные топки
• Технологии нанесения покрытия
• Контроль предварительного вакуума
• Цепи безопасности вакуумных систем
Комбинированный вакуумный датчик VSM от 1000 до 5 x 10-9мбар Пирани / Холодный катод
Пример применения
Оптическое покрытие зеркал выполняют лазерным резонатором при давлении ниже 2 x 10-3 мбар.
Задача
Используемый вакуумный измерительный преобразователь должен осуществлять отслеживание давление во время покрытия, а также минимальное допустимое давление 10-6 мбар в вакуумной камере. Одним из наших клиентов раньше использовался комбинированный вакуумметр Пирани/холодный катод, где холодный катод использовался для отслеживания минимального давления и давления процесса. Однако, продолжительная работа датчика при давлении превышающем 10-3 мбар приводит к его быстрому износу.
Решение
В преобразователях VSM на базе датчика Пирани с расширенным диапазоном холодный катод используется только при уровне очень низкого давления. Переход с одного датчика на другой конфигурируется, чтобы обеспечить соответствие требованиям применения. В настоящее время для измерений в ходе всего процесса покрытия используют датчик Пирани. Холодный катод таким образом остается вне работы и активизируется только при снижении давления системы ниже минимального значения. Таким образом существенно улучшена технология промышленного покрытия. Для непосредственной проверки уровня давления на месте применения устройства можно использовать встроенный ЖК дисплей.
Применение
• Аналитическое оборудование
• Технологии нанесения покрытия
• Технологические процессы
• Контроль высокого и низкого вакуума
• Металлизация
• Вакуумные топки
Комбинированный вакуумный датчик VSH от 1000 до 5 x 10-10мбар Пирани / Горячий катод
Пример применения
При процессах пайки, спекания и термической обработки необходимо отсутствие кислорода в окружающей среде, что подразумевает выполнение процессов в вакууме частично с использованием инертных газов.
Задача
Чтобы избежать окисления изделия, уровень вакуума в ходе процесса необходимо отслеживать и поддерживать постоянным. Одному из наших клиентов потребовалось высокоточное измерение давления глубокого вакуума в трубчатой печи рядом с отверстиями для впуска газа и вакуумирования.
Решение
Преобразователи VSH с необходимым широким диапазоном измерений предназначены для высокоточного измерения давления рядом с отверстиями для впуска газа и вакуумирования. Соединение измерительных преобразователей с ПЛК системы выполняется на базе последовательного интерфейса RS485, что позволяет графически отображать оба уровня давления, обеспечивая простоту отслеживания изменения давления внутри печи. В качестве опции возможна реализация отображения показаний давления на оперативной панели с использованием двухканального блока контроля и индикации VD12.
Применение
• Аналитическое оборудование
• Технологии нанесения покрытия
• Контроль состояния вакуума от глубокого до ультра глубокого
• Металлизация
• Технологические процессы
Комбинированный вакуумный датчик VSI от 2 х 10-3 - 5 x 10-9 мбар Холодный катод
Пример применения
Для улучшения свойств поверхности деталей методом ионно-плазменного напыления покрытий часто используются технологии магнетронного распыления и плазменного осаждения.
Задача
Требуется решение для высокочувствительного и надежного измерения давления глубокого вакуума в процессе ионно-плазменного напыления покрытий. Необходимо обеспечить точный контроль давления в пределах от атмосферного до порядка 10-9 мбар.
Решение
Использование комбинированного вакуумного датчика серии VSI. Этот прибор сочетает два метода измерения: термопарный метод для грубых значений вакуума (до ~10-3 мбар) и метод холодного катода для сверхчувствительной регистрации низкого давления вплоть до 10-10 мбар. Таким образом обеспечивается широкий динамический диапазон измерений, высокая чувствительность и минимальное время отклика прибора.
Применение
- Магнетронное распыление
- Ионно-плазменное покрытие
- Электронно-лучевая сварка
- Высоковакуумные технологические камеры
- Испытательные стенды материаловедения
- Научные исследования и разработки
Комбинированный вакуумный датчик VSL от 1200 - 1 x 10-4 мбар Пьезо / Пирани для шлюзов
Пример применения
В современных литейных цехах широкое распространение получили методы вакуумного формования, позволяющие получать высококачественные металлические заготовки с минимальной пористостью и высоким качеством поверхности.
Задача
Необходимо организовать мониторинг давления в пресс-формах при изготовлении ответственных деталей авиационной техники, требуя точной фиксации давления с минимальным временем задержки сигнала и устойчивым функционированием в условиях промышленных вибраций и повышенных температур.
Решение
Оптимальное решение представляет собой использование комбинированного вакуумного датчика серии VSL. Данный датчик обладает двумя методами измерения: капиллярным манометрическим способом для промежуточных уровней вакуума и горячим катодом для низкоплотностных состояний среды. Такое сочетание методов гарантирует точные показания даже при резких изменениях давления в течение рабочего цикла.
Применение
- Производство металлических заготовок методом вакуумного литья
- Контроль состояния вакуума в технологических камерах
- Мониторинг герметичности крупных узлов
- Экспериментальные исследовательские лаборатории
- Проверочные испытания материалов и конструкций
Комбинированный вакуумный датчик VCP от 1000 - 5 x 10-4 мбар Пирани для коррозионных сред
Пример применения
В химической промышленности многие производственные процессы требуют постоянного контроля вакуума в агрессивных газообразных средах, содержащих сероводород, хлористый водород и другие химические соединения, обладающие сильной коррозионной активностью.
Задача
Предприятие занимается производством химического сырья, включая реагенты для металлургической отрасли. Требуется надежный способ контроля уровня вакуума в реакторных сосудах, работающих с коррозионно-активными веществами. Необходимо выбрать устройство, которое обеспечит продолжительную эксплуатацию в экстремальных условиях агрессивных газовых смесей.
Решение
Эффективным решением становится применение специализированного комбинированного вакуумного датчика серии VCP. Его конструкция разработана специально для работы в агрессивных средах благодаря специальным материалам корпуса и элементов сенсора, стойким к воздействию большинства распространенных коррозионных веществ. Метод измерения Пирани гарантирует устойчивость к повреждениям в присутствии паров кислот и щелочей.
Применение
- Химическая промышленность
- Фармацевтические производства
- Процессы дегазации и очистки токсичных соединений
- Контроль качества и чистоты инертных сред
- Специальные лабораторные эксперименты
Комбинированный вакуумный датчик VCR от 1200 - 1 x 10-4 мбар Пьезо / Пирани для коррозионных сред
Пример применения
Многие промышленные предприятия сталкиваются с необходимостью проводить длительные процессы осушки, сушки и обезгаживания твердых материалов в специальных вакуумных сушилках и дегазационных аппаратах. Поскольку используемые среды зачастую содержат вещества, способные вызвать быструю коррозию обычных материалов датчиков, возникает проблема быстрого выхода из строя оборудования и необходимость частой дорогостоящей замены.
Задача
Один из заводов производит продукцию, требующую длительной обработки в условиях глубокой дегазации. Необходимо надежно мониторить давление в дегазационном оборудовании, работающем в среде насыщенной агрессивными компонентами, такими как SO2, HCl и HF. Устройство должно обеспечивать постоянную точность замеров и длительный срок службы без потери чувствительности.
Решение
Наиболее оптимальным выбором является использование комбинированного вакуумного датчика серии VCR, предназначенного именно для работы в тяжелых эксплуатационных условиях с воздействием коррозионных веществ. Основа прибора состоит из пьезорезистивного и пираниевого принципов измерения, что обеспечивает широчайший рабочий диапазон давлений от грубой оценки (сотни миллибар) до чрезвычайно низких значений (около 10?? мбар). Покрытие корпуса нитридом титана защищает элементы конструкции от воздействия агрессивных примесей, продлевая ресурс и сохраняя метрологию датчика на протяжении длительного срока эксплуатации.
Применение
- Химическая и нефтехимическая промышленность
- Производства активных фармацевтических субстанций
- Лаборатории анализа проб воды и воздуха
- Анализаторы содержания влаги и примесей в продуктах питания
- Энергоэффективные производственные линии и испытательное оборудование
Комбинированный вакуумный датчик VCL от 1200 - 5 x 10-4 мбар Пьезо / Пирани для коррозионных сред для шлюзов
Пример применения
Современные технологические линии производства электроники и оптических устройств используют вакуумные шлюзы для безопасной транспортировки компонентов и материалов между зонами различной степени вакуума. Однако стандартные датчики давления часто выходят из строя из-за контакта с активными элементами среды, содержащими кислоты, растворители и прочие агрессивные компоненты, применяемые в производстве.
Задача
Предприятию необходимо подобрать решение для организации мониторинга уровня вакуума в транспортных шлюзах, использующих коррозионно активные среды, содержащие пары органических растворителей, азотной и соляной кислот. Установка должна иметь компактные размеры, совместимость с современным промышленным оборудованием и надежное функционирование в жестких условиях производства.
Решение
Одним из наиболее удачных решений является установка комбинированного вакуумного датчика серии VCL, разработанного специально для эксплуатации в высокоагрессивных средах. Особенностью конструкции является специальная защита чувствительных элементов и самого корпуса датчика материалом TiN (нитрид титана), устойчивого к большинству используемых химических веществ. Благодаря комбинации пьезорезистивной и пираниевой технологий достигается широкий диапазон измерений от умеренных величин (1200 мбар) до глубоких значений вакуума (до 5?10?? мбар).
Применение
- Высокотехнологичное производство микросхем и электронной техники
- Перенос и хранение образцов в микробиологических лабораториях
- Транспортировка реактивов и материалов в научно-исследовательских центрах
- Шлюзы перехода между разными уровнями вакуума в производственном оборудовании
- Специализированные экспериментальные аппараты и установки для синтеза новых материалов
| Тип вакуумметров |
Диапазон измерений |
Характеристики |
| VSR |
от 1200 до 1e-4 мбар,
от 900 до 1e-4 торр |
Комбинированный датчик пьезорезистивный/Пирани, высокая точность |
| VSP |
от 1000 до 1e-4 мбар,
от 750 до 1e-4 торр |
Thyracont Пирани, расширенный рабочий диапазон |
| VSM |
от 1000 до 5e-9 мбар,
от 750 до 5e-9 торр |
Комбинированный датчик Пирани/холодный катод, конструкция повышенной прочности |
| VSH |
от 1000 до 5e-10 мбар,
от 750 до 5e-10 торр |
Комбинированный датчик Пирани/подогреваемый катод, высокая точность |
| VSI |
2 x 10-3 – 5 x 10-9 мбар,
(1,5 x 10-3 – 5 x 10-9 торр)
|
Комбинированные вакуумные датчики VSI (Холодный катод)
|
| VSL |
1200 – 1 x 10-4 мбар,
(900 – 1 x 10-4 торр)
|
Комбинированные вакуумные датчики VSL (Пьезо/Пирани) для шлюзов
|
| VCP |
1000 – 5 x 10-4 мбар,
(750 – 5 x 10-4 торр)
|
Комбинированные вакуумные датчики VCP (Пирани) для коррозионных сред
|
| VCR |
1200 – 1 x 10-4 мбар,
(900 – 1 x 10-4 торр)
|
Комбинированные вакуумные датчики VCR (Пьезо/Пирани) для коррозионных сред
|
| VCL |
1200 – 5 x 10-4 мбар,
(900 – 5 x 10-4 торр)
|
Комбинированные вакуумные датчики VCL (Пьезо/Пирани) для коррозионных сред для шлюзов
|
| VGR |
Программное обеспечение VacuGraph™ Windows® |
калькулятор утечек, сохранение и отображение характеристик давления, удобное конфигурирование при помощи панели инструментов |
|
2015-2020. 
