Благодаря запатентованной конструкции магнетрона,  мишень в нем удерживается  очень просто – с помощью магнита. Таким образом, замена магнита осуществляется легко и быстро, разборка магнетрона не требуется.

Таблица.  Магнетроны серии МАК.

Модель магнетрона серии MAK	1.3''	2.0'	3.0''	4.0''	6.0''
Диаметр мишени:         мм	34	50	75	100	150
дюймы	1.33	2.0	3.0	4.0	6.0
Флаенц СоnFlat крепления магнетрона, внешний диаметр (дюймы)	CF1.3	CF2.0	CF3.0	CF4.0	CF6.0
Магнит	Nd/FeB
Максимальная энергия от источника постоянного тока, Вт	350	1000	2000	3000	6000
Максимальная энергия от источника ВЧ тока, Вт	200	400	750	1200	2000
Напряжение на катоде, В	200-1000	5,5	14,5	49,5	70
Максимальный ток разряда, А	1,0	3,0	5,0	7,0	10,0
Рабочее давление, торр	5х10-4 – 0,6
Скорость распыления (г/мин)	0,6	0,8	0,8	1,0	2,0

Конфигурации магнетронов

Магнетроны с внешним управлением линейного и углового  расположения катода. Для регулирования расположения катода не требуется открытие вакуумной камеры и осуществляется при сохранении вакуума внутри вакуумной напылительной системы.	Гибкий держатель с ручной регулировкой угла наклонаа магнетрона Магнетрон с угловым креплением «справа», ручная продольная регулировка
	Стандартная версия магнетрона и держателя магнетрона, с ручной продольной регулировкой

При заказе магнетрона
При заказе магнетрона с внешним управлением, требуется указать желаемый размер линейного перемещения (для магнетрона с внешней линейной регулировкой) или желаемый диапазон изменения угла наклона магнетрона.

Дополнительные опции для магнетронов: 

• - Магнетроны компании Mei-Vac предлагают большой выбор опций для достижения поставленных перед процессом напыления задач.
• - Стандартный магнетрон серии МАК смонтирован на 300 мм кронштейне, с фиксатором позиции на кронштейне. Вода и электричество подаются внутри этого кронштейна при атмосферном давлении.
• - 19-ти миллиметровый вакуумный ввод Quick Coupler необходим для встраивания магнетрона в вакуумную камеру и установки его на требуемом расстоянии от подложки.
• - Заслонка с ручным управлением
• - Заслонка с пневматическим управлением.
• - Порт для подачи газа.
• - Порт для подачи газа в область катода магнетрона.
• - Желаемый размер фланца для крепления к вакуумной камере.

 
Компания АКТАН поставляет блоки питания для магнетронов.

Блоки питания магнетронов
 

Источник питания прямого тока
• 500 Вт, 1 кВт, 1,5 кВт, 2,5 кВт, 5 кВт • Опция импульсной подачи напряжения доступна с источником 5 кВт • Эффективная система гашения дуги • Регулировка по мощности, напряжению, току

ВЧ источники питания, со встроенным автоматическим согласующим устройством
• 300, 600, 1000 Вт • Программируемый • С воздушным охлаждением • RS-232 / 422 / 485 интерфейсы • Контроль напряжения ВЧ разряда и прямого тока

Компания АКТАН также поставляет вакуумные напылительные системы ADVAVAC и вакуумные напылительные установки про-ва США  с электронно-лучевым испарителем (с одним или несколькими источниками), полностью автоматические или более бюджетный вариант с частичной автоматизацией.