АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Блок питания и контроллер для резистивного испарения
Электронно-лучевые испарители
Блоки питания и контроллеры для электронно-лучевого испарения
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Распродажи

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости
       Все новости АКТАН ВАКУУМ

2015. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru



03.11.2016

Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont
подробнее...


01.11.2016

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее...

26.04.2016.

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО "АКТАН ВАКУУМ" приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее...

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!
Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ "Сокольники", павильон № 2
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

подробнее...

30.09.2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке Aerospace Testing & Control 2015 подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне "Крокус Экспо", пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки

подробнее...

06.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific...
подробнее о тренинге...

2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее...



АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 


Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет дроссельные заслонки для магнетронов в
вакуумных напылительных системах

Компания РОБВАК поставляет нагреваемые подложкодержатели для магнетронного напыления.


Нагреваемые подложкодержатели для магнетронного распыления выпускаются в двух версиях:
1. Для крепления образцов
2. Для крепления пластин

Максимальная температура нагрева составляет 950 ºС.
Используются источники питания переменного или постоянного тока.

 

 

 


Нагреваемые подложкодержатели для крепления образцов в процессе магнетронного распыления
- на поверхности данного подложкодержателя можно просверлить отверстия, нарезать в них резьбу, прикрепить зажимы для крепления образцов
- перед эксплуатацией данный подложкодержатель должен быть обязательно прогрет до (или выше) рабочей температуры процесса напыления
- для лучшей теплопередачи на поверхность подложкодержателя может быть нанесена Теплопроводящая Серебряная Паста (ТСП продается как дополнительная принадлежность).

Нагреваемые подложкодержатели для крепления пластин в процессе магнетронного распыления
- выполнен из инконеля
- в подложкодержателе выточено углубление под конкретный размер пластины
- не рекомендуется использовать Теплопроводящую Серебряную Пасту с данным подложкодержателем

Таблица.  Нагреваемые подложкодержатели.
Основные характеристики SU-200-HH SU-200-IH SU-300-HH SU-300-IH SU-600-IH
Тип напыляемого изделия Образец Пластина Образец Пластина Пластина
Размер, мм 50 50 75 100 150
Равномерность температуры +/- 1% +/- 1% +/- 1% +/- 2% +/- 2%
Область равномерности, мм 32 50 56 100 150
Время нагрева до 950 ºС, мин 12 12 13 22 30
Время охлаждения 35 мин 35 мин 40 мин 3 ч 4 ч
Максимальный ток, А 10   10 9 14 14
Максимальное напряжение, В 45 45 85 85 135
Сопротивление нагревателя, Ом 5   5 10 6 10

 

 


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08

Мобильная версия m.actan.ru

Copyright © 2004-2017 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика