АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Блок питания и контроллер для резистивного испарения
Электронно-лучевые испарители
Блоки питания и контроллеры для электронно-лучевого испарения
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Распродажи

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости
       Все новости АКТАН ВАКУУМ

2015. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru



03.11.2016

Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont
подробнее...


01.11.2016

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее...

26.04.2016.

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО "АКТАН ВАКУУМ" приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее...

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!
Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ "Сокольники", павильон № 2
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

подробнее...

30.09.2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке Aerospace Testing & Control 2015 подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне "Крокус Экспо", пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки

подробнее...

06.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific...
подробнее о тренинге...

2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее...



АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

ВЧ генераторы. Главная страница
Высокочастотные генераторы RFVII


Высокочастотный генератор RF-10-XIII для полупроводникового производства, установки плазменного напыления, травления, чистки подложек в вакуумных напылительных установках.

ВЧ генератор RF-10-XIII мощностью 1000 Вт при генерируемой частоте 13.56 МГц

- мощность ВЧ генератора при 13.56 МГц составляет 1000 Вт
- вес 19 кг
- напряжение питания 190-240 В, однофазное
- небольшие габаритные размеры
- твердотельная электроника для длительного срока службы
- воздушное охлаждение
- управляющее напряжение 0-5В (опционно: 0-10В)
- полностью дистанционное управление
- RS-232 интерфейс управления
- габаритные размеры 20 х 43.2 х 50.8 см (ВхШхГ)
- по ширине полностью занимает ширину стандартной 19 дюймовой стойки
- удобная передняя панель управления с цифровыми показаниями подаваемой и отраженной энергии
- возможна поставка без активной передней панели (заглушенная передняя панель - только для дистанционного управления ВЧ генератором через аналогово-цифровые интерфейсы управления)

Примеры областей применения ВЧ генератора
RF-10-XIII:

Полупроводниковое производство
Установки плазменного напыления
Установки плазменного травления
Чистка подложек в вакуумных напылительных установках
Активация поверхностей при вакуумной обработке

Ниже Вы можете ознакомится с наглядным примером заказа полного комплекта ВЧ генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления - магнетрона.

Рисунок 1. Показан комплект ВЧ генератора с согласующем устройством в неподсоединенном виде  со всеми необходимыми кабелями.

Рисунок 1. Показан комплект ВЧ генератора с согласующем устройством в неподсоединенном виде  со всеми необходимыми кабелями.

 

Рисунок 2. Полностью собранный комплект ВЧ генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления (магнетрона), показывающий все необходимые соединения кабелями.

Рисунок 2. Полностью собранный комплект Вч-генератора и согласующего устройства для питания одного источника напыления (магнетрона), показывающий все необходимые соединения кабелями.

 

На фотографиях изображены следующие позиции:

1. ВЧ генератор

2. Согласующее устройство для ВЧ генератора

3. Контроллер автосогласующего устройства ( включен в комплект  согласующего устройства для ВЧ генератора)

4. Кабель от ВЧ генератора к согласующему устройству (цена зависит от длины/типа кабеля)

5. Кабель от контроллера автосогласующего устройства к магнетрону (цена зависит от длины/типа соединения кабеля)

6. Кабель от контроллера к согласующему устройству (включен в комплект  автосгласующего устройства)

7. Кабель электропитания (включен в комплект поставки ВЧ генератора)

8. Магнетрон

Компания АКТАН ВАКУУМ обеспечивает как поставку, так и сервисное обслуживание поставляемых ВЧ генераторов и устройств согласования ВЧ энергии. Прошедшие обучение в США инженеры компании АКТАН ВАКУУМ помогут правильно подобрать высокочастотный генератор и высокочастотное автосогласующее устройство (или согласующее устройство с ручным высокочастотным согласованием, если бюджет не позволяет купить согласующее устройство с автоматической согласующей схемой). Также, инженеры компании АКТАН ВАКУУМ обеспечат сервис в гарантийный и послегарантийный период высокочастотных генераторов.


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08

Мобильная версия m.actan.ru

Copyright © 2004-2017 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика