АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Блок питания и контроллер для резистивного испарения
Электронно-лучевые испарители
Блоки питания и контроллеры для электронно-лучевого испарения
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 


 

Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет сеточные ионные источники серии RFICP 100


сеточные ионные источники серии RFICP 100

RFICP 100 – компактный сеточный ионный источник, который хорошо подойдет для ионного осаждения и ионного травления. По сравнению с его малыми физическими размерами мощность ионного пучка (>400 мА) впечатляет. Диаметр источника составляет 19 см и он монтируется на 10” фланец CF.

RFICP 100 подходит для малых и средних вакуумных камер. При ионном напылении ионные источники снабжаются ионной оптикой, которая ограничивает пучок до размера распыляемой мишени. А при травлении ионным пучком установленная ионная оптика обеспечивает равномерность пучка. Для стандартной конфигурации типовой диапазон энергий составляет от 100 до 1200 эВ, а ионный ток может быть более 400 мА.

Основные характеристики:

Модель сеточного ионного источника RFICP100
Метод генерации ионов Удерживание плазмы ВЧ индукцией
Число нитевых катодов Нет
Мощность ВЧ 1 КВт
Ионная оптика OptiBeamTM
     Сетки Специализированы под приложения
     Центровка Самовыравнивание
     Размер пучка у сетки 10 или 12 см (типовой)
Нейтрализатор (ст. комплектация) LFN 2000
Контроллер питания RFICP 1510-2-10-LFNA
Опции  
     Ионная оптика Коллимированная,
фокусированная,
дефокусированная
     Опционные контроллеры 0,6 КВт
     Нейтрализатор MHC 1000
     Монтаж На фланце

Модели:
RFICP 100

Опции:
Комплект ионной оптики


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика