АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Блок питания и контроллер для резистивного испарения
Электронно-лучевые испарители
Блоки питания и контроллеры для электронно-лучевого испарения
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 


 
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет линейку источников электронов с полым катодом



Источники электронов с полым катодом KRI

Источники электронов с полым катодом KRI разработаны на основе передовой технологии изготовления катодов. Наши патентованные катодные вставки изготавливаются полностью из металла и не содержат хрупких и дорогостоящих керамических деталей с низкими рабочими характеристиками. Надежная технология, использующая только металлы, обеспечивает катодам длительный срок службы и противостоит эффекту старения при работе в атмосфере химически-активных газов, что делает эти катоды хорошо подходящими для продолжительных рабочих циклов, работы в химически активных газах.
Полые катоды от KRI – компактные и легкие. Эти неиммерсионные нейтрализаторы могут устанавливаться на стенке ионного источника. Их межсервисный интервал существенно больше чем у иммерсионного нитевого источника. Большой межсервисный интервал полезен, когда проведение сложных процессов требует постоянной работы без перерывов. Кроме того, полые катоды KRi могут устанавливаться в высокопроизводительные шлюзовые модули, в которых нерегулярные откачки газа из камеры требуют надежного источника электронов с малым временем обслуживания и большим периодом безотказной работы. По сравнению с нитью, эти полые катоды излучают на подложку меньше тепловой энергии. В случаях, когда проводятся работы с чувствительными к температуре подложками, источники электронов с полыми катодами SHC 1000, MHC 1000 или LHC 1000 могут оказаться предпочтительными.

Основные характеристики
Модель источника электронов с полым катодом SHC 1000 MHC 1000 LHC 1000
Газ в источнике Инертные
(Ar, Xe)
Инертные
(Ar, Xe)
Инертные
(Ar, Xe)
Ток эмиссии (макс) >1 A >5 A >10 A
Длина (номинал.) 2.9" 3.6" 4.6"
Ширина (номинал.) 1.5" 2.3" 2.3"
Рабочие газы Инертные,
активные,
смеси
Инертные,
активные,
смеси
Инертные,
активные,
смеси
Контроллер питания HC12015A HC12015A HC12015A
Установка Рядом с ИИ Рядом с ИИ Рядом с ИИ
Опции Неремонтопригодная версия   Неремонтопригодная версия

Модели:
SHC 1000
MHC 1000
LHC 1000

Опции:
Неремонтопригодная версия


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика