АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Блок питания и контроллер для резистивного испарения
Электронно-лучевые испарители
Блоки питания и контроллеры для электронно-лучевого испарения
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 


 
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет линейку источников электронов LFN 2000



LFN 2000 – неиммерсионный источник электронов

LFN 2000 – неиммерсионный источник электронов, который устанавливается на стенке ионного источника. Его диапазон работы подходит для приложений, в которых предпочтителен низкий ток эмиссии. К таким ионным процессам, в которых желателен низкий ток эмиссии и лучшая разрешающая способность, относятся процессы с самыми малыми источниками и малыми токами ионного пучка.

LFN 2000 имеет межсервисный интервал значительно больший, чем у иммерсионного нитевого источника электронов. Большое время безотказной работы выгодно, когда проведение сложных процессов требует постоянной работы без перерывов. Поэтому LFN 2000 хорошо подходит для высокопроизводительных шлюзовых модулей, в которых нерегулярные откачки газа из камеры требуют надежного источника электронов с малым временем обслуживания и большим периодом безотказной работы. Если это требуется по техническому заданию на техобслуживание, модульная архитектура источников LFN обеспечит простой и быстрый доступ благодаря возможности разъединения деталей.

Основные характеристики
Модель источника электронов LFN 2000
Газ в источнике Инертные (Ar, Xe)
Ток эмиссии (макс.) >1 A
Длина (номинал.) 1.7"
Ширина (номинал.) 2.3"
Рабочие газы Инертные, химически активные, смеси
Контроллер питания LF12002A
Монтаж Ионный источник или произвольная установка
Конструкция Модульная

Модели:
LFN 2000

Опции:
Модульный нейтрализатор


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика