KDC 160 – самый большой и самый мощный сеточный ионный источник с удерживанием плазмы постоянным магнитным полем. Он постоянно используется и успешно работает во множестве установкок для всех типовых ионных процессов. Его высокопроизводительная ионная оптика может поддерживать ток ионного пучка свыше 1000 мА. Этот мощный пучок формируется без водяного охлаждения ионного источника. Его конструкция такова, что не требует подвода воды ни в вакуумную камеру, ни к самому источнику. Поскольку можно обойтись без подвода воды, это облегчает установку и исключает возможность ее попадания в камеру. Как KDC 75 и KDC 100, KDC 160 имеет два катода. Эти два катода бывают полезными, когда химически активные газы, такие как O2, N2 и углеводороды, попадают в источник.
Для стандартной конфигурации типовой диапазон энергий ионов составляет от 100 до 1200 эВ, а ионный ток может быть более 800 мА.
Основные характеристики
Модель сеточного ионного источника
KDC 160
Метод генерации ионов
Удерживание плазмы постоянным магнитным полем
Число нитевых катодов
2 шт.
Напряжение на аноде
0-100 В DC
Ионная оптика
OptiBeamTM
Сетки
Специализированы под приложения
Центровка
Самовыравнивание
Размер пучка у сетки
16 см (типовой)
Нейтрализатор (ст. комплектация)
Нитевой
Контроллер питания
KSC 1212
Опции
Ионная оптика
Коллимированная, фокусированная, дефокусированная
Опции контроллера
4 газовых канала, 4 программы-рецепта
Нейтрализатор
Sidewinder или LFN 2000
Монтаж
Вынесенный или на фланец
Модели:
KDC 160
Опции:
Внешний нейтрализатор
Комплект ионной оптики
Кронштейн с регулируемым наклоном
2015-2020 
