АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru



Ионные источники и блоки питания
Магнетроны
Блоки питания магнетронов
Блок питания и контроллер для резистивного испарения
Электронно-лучевые испарители
Блоки питания и контроллеры для электронно-лучевого испарения
Планетарные механизмы
Дроссельные заслонки
Нагреваемые подложкодержатели
Токовводы для резистивного
напыления
Высокочастотные генераторы и
согласующие устройства

Мишени для магнетронного напыления
Обезжиренная фольга
Термопаста для магнетронов




Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости 2015-2019 Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПОНЕНТЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ, НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 


 
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет сеточные ионные источники серии KDC 75




сеточные ионные источники серии KDC 75

KDC 75 – компактный сеточный ионный источник. Диаметр источника – 14 см и он может крепиться на 8” фланец CF. KDC 75 подойдет для малых и средних вакуумных камер. Этот источник оснащен двумя нитевыми катодами, что увеличивает межсервисный интервал. Когда первый катод работает, второй выключен до тех пор, пока первый не выйдет из строя. Далее, не нарушая вакуум, включается неработающий катод и обеспечивает дальнейшую нормальную работу. KDC 75 предлагает уникальный набор сильно выгнутой ионной оптики, которая обеспечивает точную фокусировку пучка в установках ионного напыления. С другой стороны, эта же ионная оптика формирует выраженный дефокусированный пучок, необходимый для установок ионно-лучевого осаждения или ионного травления. Вместе с компактностью размеров KDC 75, эти сильно выгнутые сетки очень важны, если небольшие установки требуют малых расстояний между источником и распыляемой мишенью или подложкой.

Для стандартной конфигурации типовой диапазон энергий составляет от 100 до 1200 эВ, а ионный ток может быть более 250 мА.

Основные характеристики
Модель сеточного ионного источника KDC 75
Метод генерации ионов Удерживание плазмы постоянным магнитным полем
Число нитевых катодов 2 шт.
Напряжение на аноде 0-100 В DC
Ионная оптика OptiBeamTM
     Сетки Специализированы под приложения
     Центровка Самовыравнивание
     Размер пучка у сетки 7,5 см (типовой)
Нейтрализатор (ст. комплектация) Нитевой
Контроллер питания KSC 1212 или KSC 1202
Опции  
     Ионная оптика Коллимированная,
фокусированная,
дефокусированная
     Опции контроллера 4 газовых канала, 4 программы-рецепта
     Нейтрализатор LFN 2000 или MHC 1000
     Монтаж Вынесенный или на фланец

Модели:
KDC 75
KDC 75L (малый ток пучка)

Опции:
Внешний нейтрализатор
Комплект ионной оптики
Однонитевой катод
Кронштейн с регулируемым наклоном


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2019 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика