Для обеспечения соединения компонентов вакуумных систем, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума – от атмосферного давления до 1x10^-13 торр используются соединения стандарта ConFlat (CF). В качестве уплотнения в данном стандарте используют два типа прокладок – плоское кольцо из отожженной меди и витоновое кольцо.
В первом случае обеспечивается уровень вакуума до 1x10^-13 торр и термостойкость в пределах от -200°С до +450°С без потери качества уплотнения.
Во втором случае уровень уплотнения соответствует обычному витоновому соединению (-20 +150°С, до 10^-8 торр) и обычно используется, если необходима частая сборка-разборка соединения.

  Принцип уплотнения состоит в механической деформации прокладки специальными острыми выступами («зубьями»), расположенными на фланцах. Таким образом, достигается высокая степень уплотнения. При этом прокладка из отожженной меди является одноразовой, то есть не допускается ее многократное применение.

Методика затягивания болтов крепежа соединения CF

Кроме того, при использовании данного типа соединения необходимо учитывать специальную методику затягивания болтов крепежа, чтобы избегать возможных микроперекосов и, соответственно, микротечей из-за неровности.

Болты обычно затягивают через один и, при этом, делают это постепенно, сохраняя примерно одинаковую степень закрученности всех болтов. То есть не нужно затягивать один болт сразу до максимально возможной степени – сила натяжения должна по возможности быть одинаковой для всех болтов крепежа.