|
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет вакуумные двери быстрого доступа
ДВЕРЬ ВАКУУМНАЯ БЫСТРОГО ДОСТУПА
Вакуумные быстросъемные двери, специально разработанные для быстрого и удобного доступа к загрузочным шлюзам и вакуумным камерам при загрузке и выгрузке подложек. Двери доступны в двух вариантах: глухие или со встроенным смотровым окном для визуального контроля процессов.
Для задач, требующих повышенной чистоты и минимального газовыделения, доступен вариант из высококачественной нержавеющей стали SS316L, обеспечивающий надежное поддержание вакуума внутри камеры.
Основные характеристики:
- Разнообразие размеров фланцев, с окном и без
- Стандартный материал – нержавеющая сталь SS304L, опционально SS316L
- Прецизионная откидная конструкция с уплотнением из FKM для надежной герметизации
- Совместимость с креплениями для портов CF
- Универсальная установка в любом положении
 Двери вакуумные быстрого доступа предназначены для использования в системах шлюзовой загрузки и других приложениях, требующих легкого и быстрого доступа, где приемлемым является уплотнение атмосферы с помощью витоновой прокладки. Конструкция вакуумной дверцы включает в себя ряд особенностей, которые обеспечивают долговременную и бесперебойную эксплуатацию.
Дверца может крепиться к камере болтами или привариваться, тем самым возможно создание постоянной или временной сборки.
Технические характеристики для дверцы быстрого доступа
| Уплотнение дверцы |
FKM (Viton) |
| Монтажное уплотнение |
Медный уплотнитель (поставляется отдельно) |
| Рабочий диапазон давлений |
760... 1х10-8 Торр
1000 ... 1х10--8 мбар
100 ... 1х10-7 кПа
|
| Герметичность по Гелию |
1 х 10-9 Торр л/с, He
1х10-9 мбар л/с, He
1х10-8 кПа
|
| Диапазон температур |
-20°С ... 150°С |
| Температура прогрева |
100°С |
| Материал корпуса |
Нержавеющая сталь 304/L |
| Материал шарниров |
Нержавеющая сталь и медь |
| Материал смотрового окна |
Стекло (только с вариантом смотрового окна) |
| Монтажное положение |
90, 180, 270, 360 градусов |
Дверца со смотровым окном
| Размер фланца, мм |
А, мм |
В, мм |
С, мм |
D, мм |
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru |
| CF4.5" |
170.0 |
32.2 |
113.5 |
63.8 |
 |
| CF6" |
210.0 |
34.6 |
151.6 |
101.6 |
|
| CF8" |
270.0 |
37.2 |
202.4 |
152.4 |
|
| CF10" |
320.3 |
39.4 |
253.2 |
152.4 |
|
Дверца без смотрового окна
| Размер фланца, мм |
А, мм |
В, мм |
С, мм |
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru |
| CF4.5" |
170.0 |
32.2 |
113.5 |
|
| CF6" |
210.0 |
34.6 |
151.6 |
|
| CF8" |
270.0 |
37.2 |
202.4 |
|
| CF10" |
320.3 |
39.4 |
253.2 |
|
|
|
2015-2020. 
