АКТАН. Вся вакуумная техника. Термовакуумное оборудование. Вакуумные напылительные системы. Криогенная и криовакуумная техника.
English
О компании АКТАН
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН
Запрос информации
Контакты АКТАН
Каталог вакуумной техники, напылительного оборудования, вакуумной арматуры,  вакуумных печей, криовакуумной техники, плазменной техники, оборудования для получения и контроля тонких плёнок, криогенное оборудование


АКТАН. Вся вакуумная техника. Термовакуумное оборудование. Вакуумные напылительные системы. Криогенная и криовакуумная техника.

Вакуумное оборудование

Компания АКТАН поставляет форвакуумные безмасляные насосы компании Hanbell.

Форвакуумные безмасляные винтовые насосы.

 Безмасляные средства откачки являются одними из самых востребованных инструментов для обеспечения вакуума в современных приложениях вакуумной техники. Они обладают целым рядом преимуществ по отношению к традиционным средствам: Сухой винтовой вакуумный насос - форвакуумный безмасляный насос
■ Отсутствие смазок и рабочих жидкостей позволяет обеспечивать высокую чистоту газовой среды в рабочей камере, что позволяет выводить на новый уровень технологические процессы, требующие наличие беспримесной газовой среды – исследовательские и экспериментальные задачи ядерной физики, ускорительно-накопительной техники, физики твердого тела, систем анализа и моделирования на атомарном уровне, нанотехнологии, космической техники;
■ При откачке активных, агрессивных или вредных газов нет необходимости очищать или утилизировать рабочую жидкость, что дает возможность их активного использования в полупроводниковых процессах, химическом производстве и т. п.;
■ Отсутствие необходимости следить за состоянием рабочих жидкостей позволяет внедрять откачные средства в новые сегменты, где прежде их использование было затруднено.

 
Рис. Винтовой форвакуумный безмасляный насос серии PS160A.

Безмасляные форвакуумные насосы Hanbell - сухие винтовые насосы удовлетворяют самым жестким требованиям и обеспечивают откачку в различных приложениях, где требуется непрерывная надежная работа с учетом самых трудных условий эксплуатации – агрессивные газы, наличие в откачиваемом газе твердых частиц, высокая температура откачиваемого газа и т. п.

Активная многолетняя эксплуатация сухих винтовых насосов Hanbell в таких приложениях как полупроводниковая промышленность, производство плоскопанельных дисплеев, выращивание кремния, вакуумная металлургия позволяют компании удерживать лидирующие позиции в данных сегментах на предприятиях Тайваня, Китая, Кореи и других стран Юго-Восточной Азии. 

Форвакуумный безмасляный насос -сухой винтовой насосПроверенные и инновационные технологии Hanbell позволяют обеспечивать высочайшие технические характеристики безмасляных насосов:

■ Уникальная надежность безмасляных насосов – позволяет штатно (!!!) эксплуатировать сухие винтовые насосы в таких тяжелых приложениях как вакуумная металлургия, выращивание кремния и других БЕЗ ФИЛЬТРОВ (!!!). При этом обеспечивается многолетняя бессбойная работа данных безмасляных винтовых насосов!
■ Специальная бесконтактная конструкция безмасляных форвакуумных насосов позволяет откачивать газ, в котором присутствуют агрессивные компоненты и посторонние твердые частицы без ущерба работоспособности;
■ В безмасляных винтовых насосах достигается предельный вакуум до 7x10-4 торр (при около 40% производительности);
Сухой вакуумный насос. Безмасляный форвакуумный насос■ Низкий уровень шума сухих насосов серии PS1202A  при работе – 65 дБ;
■ Высокая производительность  безмасляных насосов:  различные типы конструкции, в том числе, комбинированная с сухим  насосом позволяет добиваться высокой производительности;
 
Рис. Винтовой безмасляный форвакуумный
насос серии PS1202A.
 
Безмасляный форвакуумный насос - сухой вакуумный насос
■ Прекрасная управляемость безмасляного насоса – удобство управления каждым отдельным сухим насосом с помощью микропроцессора со встроенным жидкокристаллическим дисплеем и возможность объединения безмасляных насосов в кластеры и удаленное управление ими с помощью специального программного обеспечения;
■ Полный контроль и система предсказания сбоев  работы сухих вакуумных насосов– позволяет минимизировать риски из-за сбоев в течение технологического процесса;
■ Низкие расходы на техническое обслуживание безмасляных наосов – детальное обследование требуется только через 4 года работы.


Основные характеристики безмасляных форвакуумных винтовых насосов HANBELL.
Модели безмасляных форвакуумных винтовых насосов:  PS80 PS160 PS180 PS602 PS1202 PS1802
Быстрота действия (50 Гц), м3 75 130 150 615 1280 1750
Предельный вакуум, мбар 9,9×10-3 9,9×10-4
 
Потребляемая мощность, кВт (3 ф., 380 В, 50 Гц) 2,98 4,47 6,65 7,45 8,20
Охлаждающая вода Рекомендуемый поток, л/мин 3~7
Давление, атм. 2.0~4
Температура, 0С 18~30
Присоединение RC 3/8”
Газ для продувки Давление, атм. 0.5~1
Рекомендуемый поток (зависит от приложения) в зоне высокого давления насоса, л/мин. 0~60
Рекомендуемый поток (зависит от приложения) в уплотнениях, л/мин. 0~20
Присоединение Swagelok ¼”
Интерфейс RS232/485, USB, Ethernet, SEMI E73-0299
Температура окружающей среды, С 5~40
Относительная влажной окружающей среды 90%
Входной фланец KF50 ISO100
Выходной фланец KF40
Габаритные размеры, мм 814x380x642 895x410x678 940x420x689 814x380x887 895x410x943 940x420x1044
Масса, кг 280   300 320 450 520 550
Уровень шума, дБА <68 <68 <68 <70 <70 <70


Характеристика: быстрота действия форвакуумных безмасляных винтовых насосов PS80 – PS180
Сухой винтовой насос. Безмасляный форвакуумный насос. Характеристика: быстрота действия форвакуумных безмасляных винтовых насосов PS80- PS180 Сухой винтовой насос. Безмасляный форвакуумный насос. Характеристика: быстрота действия форвакуумных безмасляных винтовых насосов PS80- PS180

Характеристика: быстрота действия форвакуумных безмасляных винтовых насосов PS602 – PS1802
Сухой винтовой насос. Безмасляный форвакуумный насос.  Характеристика: быстрота действия форвакуумных безмасляных винтовых насосов PS602-PS1802 Сухой винтовой насос. Безмасляный форвакуумный насос.  Характеристика: быстрота действия форвакуумных безмасляных винтовых насосов PS602-PS1802




  Многоканальный ТЕЛ./ФАКС:
 
    +7(495) 228 0975
   
Copyright © 2004-2011 АКТАН  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН» не допускается.
Rambler's Top100