АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru


Вакуумметры. Измерители вакуума.
Анализаторы остаточных газов (RGA)
Вакуумные клапаны
Вакуумные камеры
Вакуумные затворы
Вакуумные ручные натекатели
Вакуумная арматура
Вакуумные окна
Двери вакуумные быстрого
доступа
Электрические вакуумные вводы
Вакуумные вводы вращения
Вакуумные сильфоны и
вакуумные ПВХ шланги
Вакуумные масла и смазки
Вакуумные уплотнения

Турбомолекулярные насосы
Пластинчато-роторные двухкамерные
насосы ADVAVAC
Ловушки и фильтры для
вакуумных насосов
Пластинчато-роторные одноступенчатые
насосы VACANT
Вакуумные спиральные насосы
ACTAN VACSCROLL
Мембранные вакуумные насосы серии МЕМВАК и МЕМПРОМ
Безмасляные винтовые насосы
Вакуумные откачные посты





Распродажи

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости
       Все новости АКТАН ВАКУУМ

2015. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru



03.11.2016

Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont
подробнее...


01.11.2016

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее...

26.04.2016.

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО "АКТАН ВАКУУМ" приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее...

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!
Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ "Сокольники", павильон № 2
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

подробнее...

30.09.2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке Aerospace Testing & Control 2015 подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне "Крокус Экспо", пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки

подробнее...

06.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific...
подробнее о тренинге...

2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее...



АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

Вакуумное оборудование

Компания АКТАН ВАКУУМ специализируется на поставке анализаторов остаточных газов - квадрупольных масс-спектрометров.

Анализаторы остаточных газов

Анализаторы остаточных газов - RGA – Residual Gas analyzer - квадрупольные масс-спектрометрыКомпания Extorr несколько десятилетий специализируется на производстве анализаторов остаточных газов (английская аббревиатура RGA – Residual Gas analyzer) - квадрупольных масс-спектрометров со встроенными вакуумным датчиком Пирани (низкий вакуум) и ионизационным высоковакуумным датчиком. Выпускаются квадрупольные масс-спектрометры для диапазонов до 100, 200 и 300 а.е.м. Все модели изготавливаются с фланцем ConFlat 2¾ дюйма. Каждый квадрупольный масс-спектрометр снабжен автоматическим включением и выключением, и имеет автоматическую систему контроля в диапазоне от атмосферы до сверхвысокого вакуума (10-12 торр). Данная функция позволяет включить квадрупольный масс-спектрометр при атмосфере, не боясь его выхода из строя. Эти и многие другие функции предусмотрены в удобном программном обеспечении, поставляемом с анализатором остаточного газа.

Квадрупольные масс-спектрометры серии ХТ компании Extorr предлагают исключительные характеристики, надежность и удобство в работе. Данные анализаторы остаточных газов обеспечивают более подробный анализ газов в вакуумной камере по сравнению с анализаторами остаточных газов конкурентов.
           Стандартный набор поставки RGA
Анализаторы остаточных газов - RGA – Residual Gas analyzer - квадрупольные масс-спектрометры

1. Зонд RGA и медное уплотнительное кольцо.
2. Блок контроля и управления.
3. Болты, винты, шайбы для крепления зонда RGA.
4. Кабель RS-232.
5. Источник питания и кабель питания RGA.
6. Программное обеспечение на CD.
7. Отвертка и шестигранный ключ.

Дополнительное оборудование для заказа.
 
 В поставку квадрупольного масс-спектрометра входит зонд со встроенными вакуумными датчиками, блок управления, и программное обеспечение для контроля газового состава в режиме реального времени.

Квадруполь ХТ компании Extorr идеально подходит для  анализа газов, контроля герметичности (течеискания), мониторинга процессов, происходящих в вакууме.  Часто квадрупольный масс-спектрометр компании Extorr является единственным датчиком вакуума, необходимым вашей вакуумной системе – с помощью него можно контролировать как общее давление, так и парциальное давление находящихся в вакуумной системе газов. При этом с помощью одного программного обеспечения можно управлять несколькими квадрупольными масс-спектрометрами! Данная комбинация гибкости и конкурентная цена делает анализаторы остаточных газов компании Extorr лучшим измерительным инструментов для вашей вакуумной системы.

Наличие встроенных вакуумных датчиков в квадрупольном масс-спектрометре позволяет автоматически включать и отключать RGA и электронный усилитель. Датчик Пирани выполняет защитные функции для ионизационного датчика и для квадрупольного масс-спектрометра, определяя, не находится ли RGA под высоким давлением. Ионный источник зонда анализатора остаточных газов является высокоэффективным источником ионов как для фильтра квадрупольного масс-спектрометра, так и для высоковакуумного датчика типа Байадр-Альперта. Таким образом, общее давление низковакуумного диапазона, высоковакуумного диапазона и парциальное давление может быть измерено одним анализатором остаточных газов - RGA компании Extorr.

 Зонд анализатора остаточных газов - RGA – Residual Gas analyzer - квадрупольного масс-спектрометраУникальная конструкция зонда квадрупольного масс-спектрометра. Зонд состоит из источника ионов, квадрупольного масс-фильтра и детектора. Твердо придерживаясь строгих стандартов производства сверхвысоковакуумного оборудования, компания создала новую, улучшенную по сравнению с конкурентами конструкцию зонда, при этом значительное внимание было уделено надежности работы RGA. Прочная конструкция зонда монтируется к стандартному фланцу ConFlat 23/4’’. Край зонда находится на расстоянии 173 мм от фланца. В зонде анализатора остаточного газа есть две нити накаливания из иридия, покрытые торием.

Фланец зонда квадрупольного масс-спектрометра может монтироваться как к фланцу вакуумной камеры, так и к патрубку, который монтируется между зондом RGA и вакуумной камеры. В последнем случае зонд не находится внутри вакуумной камеры, не занимает пространство внутри вакуумной камеры и не мешает проходящим в ней процессам. Зонд анализатора остаточного газа состоит из самосовмещаемых узлов и деталей, что позволяет после чистки производить его сборку легко и быстро.

Блок управления анализатора остаточного газа. Компактный блок управления квадрупольного масс-спектрометра содержит всю электронику, необходимую для управления зондом и передачи данных на компьютер. Для связи с компьютером используется интерфейс RS-232, скорость передачи данных выбирается программно. По умолчанию установлена скорость обмена информацией 115,200 бод (при использовании длинных кабелей или при наличии больших помех рекомендуется использовать меньшую скорость). Если Ваш компьютер не имеет СОМ порта, можно использовать адаптер с USB на COM. В этом случае адаптер необходимо устанавливать со стороны компьютера, так как помехозащищенность USB кабеля хуже. Блок питания RGA питается от источника 24 В прямого тока (2.1А). Электропитание к блоку питания подается от обычного сетевого кабеля, который за дополнительную плату может быть поставлен с квадрупольным масс-спектрометром. Блок управления квадрупольного масс-спектрометра легко демонтируется от зонда с целью прогрева последнего. Программное обеспечение автоматически обновляется с выходом новой версии. Все характеристики работы зонда RGA блоком управления контролируются и передаются на компьютер, эти данные могут быть использованы для диагностики зондов квадрупольного масс-спектрометра.
 
Основные преимущества квадрупольного масс-спектрометра серии ХТ:
RGA c интегрированными датчиками Пирани (на низкий вакуум) и ионизационным (на высокий вакуум)
100, 200 и 300 а.е.м. – самые востребованные диапазоны измерений
Цилиндр Фарадея, дополнительно (по желанию) - электронный усилитель
Программное обеспечение для контроля в режиме реального времени и для управления несколькими RGA
Простая замена нитей накаливания RGA
Разрешающая способность менее 1 а.е.м.
8 порядков динамического диапазона в режиме сканирования единичного масс-спектра, при течеискании и изменении давления во времени
Встроенная диагностика, легкость обновления программного обеспечения и замены узлов квадрупольного масс-спектрометра
Зонд квадрупольного масс-спектрометра полностью помещается в стандартном патрубке с фланцами CF 23/4 дюйма

Нити накаливания зонда RGA длительного срока службы. Для работы анализатора остаточного газа и высоковакуумного ионизационного датчика используются покрытые иридием ториевые нити накаливания длительного срок службы. В зонде анализатора остаточного газа смонтированы две нити накаливания. Их характеристики и режим работы постоянно диагностируются. В случае выхода из строя одной из нитей накаливания работа продолжается на второй, сигнализируя на компьютере пользователю о необходимости замены первой. Узел нитей накаливания анализатора остаточного газа защищен от резкого повышения давления работой низковакуумного и высоковакуумного датчика. Благодаря этой защите нити накаливания RGA компании Extorr имеют более длительный срок службы по сравнению с конкурирующими RGA. Нити накаливания квадрупольных масс-спектрометров легко заменяются собственными силами, процедура замены длится несколько минут. Замена нитей накаливания также возможна сервис-инженерами компании АКТАН ВАКУУМ.

Чувствительный цилиндр Фарадея. В квадрупольных масс-спектрометрах компании Extorr используется чувствительный цилиндр Фарадея на диапазоны масс анализируемых газов от 1 а.е.м. до 100, 200, 300 а.е.м. Сверхчувствительный широкодиапазонный усилитель автоматически определяет ионный ток в диапазоне от 10-6 до 10-15 А. Это позволяет получать стабильные результаты при измерении давления от 10-4 до 10-11 торр. Большая широта диапазона позволяет видеть на одном скане (графике или таблице) как парциальное давление газов, находящихся в достаточно большом количестве (например, рабочих газов), так и газов, парциальное давление которых сверхмало. При дополнительном использовании электронного умножителя возможно измерять парциальные давления ниже 10-14 торр.

Сверхчувствительный умножитель электронов. В качестве опции квадрупольных масс-спектрометров серии ХТ могут иметь встроенный умножитель электронов. В этой улучшенной и более чувствительной системе каждый анализируемый ион вызывает лавину электронов, в результате чего может происходить усиление тока более чем в миллион раз. При стандартных настройках обычно происходит усиление тока от тысяч до десятков тысяч раз, что приводит к аналогичному усилению чувствительности RGA. Что еще более важно, отношение спектров шум/сигнал можно уменьшить до значений, меньших 1/1000 по сравнению со стандартным цилиндром Фарадея. С установленным умножителем электронов выпускаются анализаторы остаточных газов серий XT100M, XT200M, и XT300M. Возможна модернизация приобретенных ранее анализаторов остаточных газов серий ХТ путем добавления умножителей электронов. При модернизации в блок управления RGA доставляется специальный высоковольтный мини-модуль, а в зонд данного квадрупольного масс-спектрометра устанавливается узел умножителя электронов. Программное обеспечение VacuumPlus поддерживает обе системы: с умножителем электронов и без него. Так же как и цилиндр Фарадея, умножитель электронов защищен от повышения давления встроенными датчиками вакуума. RGA со встроенным умножителем электронов позволяет определять парциальное давление ниже 10-14 торр.    

Программное обеспечение для работы с анализатором остаточных газов. Все анализаторы остаточных газов поставляются с программным обеспечением VacuumPlus, работающим в режиме реального времени. Программное обеспечение поставляется бесплатно. Интуитивно понятный графический интерфейс делает работу с программой легкой и интересной даже начинающему пользователю. Программа стартует с показа значения вакуума, поступающего от вакуумного датчика Пирани, затем от высоковакуумного ионизационного вакуумного датчика, и после этого выводит парциальные давления. Весь цикл откачки форвакуумными и высоковакуумными насосами может контролироваться RGA и отображаться на дисплее компьютера. В одной программе может быть открыто несколько графиков или таблиц, отображающих данные от нескольких квадрупольных масс-спектрометров. Все эти данные отображаются в режиме реального времени. Пользователь может выбрать единицы измерений давления: торы (мм.рт.ст.), Па, или амперы (измеренный ионный ток). Данные могут отображаться в логарифмическом масштабе, таким образом, можно на одном графике видеть парциальные значения газов, давление которых отличается на несколько порядков. Программное обеспечение также позволяет управлять параметрами зонда квадрупольного масс-спектрометра: провести настройку по массам, калибровку, чувствительность, установки узла ионизации. Для дальнейшего анализа данных они могут быть сохранены в файле, при этом в разных форматах. Например, данные могут быть сохранены в текстовом формате или в формате XML, что позволит их использовать в дальнейшем во многих приложениях. Данные могут передаваться в режиме реального времени в формате XML, что позволяет их анализировать в других приложениях также в режиме реального времени. Графики могут быть распечатаны на принтере. 
 

Исключительные особенности анализаторов остаточных газов (квадрупольных масс-спектрометров) компании Extorr.

Неразрушаемый RGA с лучшей системой самозащиты. Анализаторы остаточных газов компании Extorr установили новый стандарт надежности среди RGA. Нить накала и электронный умножитель защищены работой датчика Пирани. Электронная схема квадрупольного масс-спектрометра защищена от коротких замыканий между зондом квадрупольного масс-спектрометра и стенками камеры. Это позволяет давать один год гарантии на весь анализатор остаточных газов, включая нить накаливания и электронный умножитель. При этом сохраняется легкость обслуживания зонда в случае его загрязнения.

Измерения от атмосферы до сверхглубокого вакуума и течеискание. Наличие встроенных низковакуумного и высоковакуумного датчика позволяет подключать квадрупольный масс-спектрометр к вакуумной системе для контроля герметичности при любом давлении в ней. Анализатор остаточного газа является идеальным прибором для измерения парциального давления, но требует обязательной количественной калибровки с использованием точного ионизационного датчика, так как со временем чувствительность анализатора остаточных газов меняется. Это происходит по следующей причине. Для разделения в квадрупольном масс-спектрометре требуются ионы с энергией 5-10 эВ. При работе высоковакуумного ионизационного датчика образуются более высокоэнергетичные ионы, с энергией до 150 эВ, при этом долгая работа не приводит к такому же ухудшению его характеристик, как у RGA. В ионизаторе анализатора остаточных газов Extorr имеется две области, в которых одновременно генерируются как низкоэнергетичные, так и высокоэнергетичные ионы, и два отдельных детектора для них. Другие производители для измерения общего давления используют разные схемы, которые позволяют обходиться только низкоэнергетичными ионами. Проблемы наступают, когда показания их анализаторов остаточных газов ухудшаются со временем, а для калибровки RGA они советуют использовать высоковакуумный ионизационный вакуумметр, не предлагая его вам.

Изолированный интерфейс RS-232 делает RGA компании Extorr защищенным от электромагнитных полей. Анализатор остаточного газа подключается к компьютеру через надежный последовательный RS-232 интерфейс. Связь с компьютером постоянно проверяется на наличие ошибок. Скорость передачи данных может регулироваться. Для увеличения помехозащищенности при использовании длинных кабелей (10-15 метров) не рекомендуется выставлять максимальную скорость передачи данных от квадрупольного масс-спектрометра в компьютер.

Самофиксирующийся электронный умножитель. Если Вы планируете заменить электронный умножитель, просто, используя чистые перчатки, аккуратно протрите его пальцами. Не требуется никаких инструментов и разборки зонда квадрупольного масс-спектрометра.

Расширенная диагностика квадрупольного масс-спектрометра. В случае возникновения проблем с работой анализатора остаточных газов, можно воспользоваться информацией об ошибках, которая поставляется вместе с ПО. Более 90% ошибок диагностируются самостоятельно, или путем отправки описания ошибки по электронной почте. Вышлите нам log-файл (журнал) вашего ПО, мы скажем вам, где проблема возникла и как ее исправить.

Лучшая чувствительность и стабильность. Мы уверены, что предлагаем Вам лучший анализатор остаточных газов в своем ценовом диапазоне. Данные квадрупольные масс-спектрометры разрабатывались с целью:
■ Быть самыми легкими в обращении  

   Спецификация анализаторов остаточных газов ХТх00(М)
   Дополнительное оборудование для заказа.


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08

Мобильная версия m.actan.ru

Copyright © 2004-2017 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика