АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы



Распродажи

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости
       Все новости АКТАН ВАКУУМ

2015. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru



03.11.2016

Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont
подробнее...


01.11.2016

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее...

26.04.2016.

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО "АКТАН ВАКУУМ" приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее...

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!
Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ "Сокольники", павильон № 2
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

подробнее...

30.09.2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке Aerospace Testing & Control 2015 подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне "Крокус Экспо", пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки

подробнее...

06.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific...
подробнее о тренинге...

2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее...



АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

О компании Intellemetrics
Приборы оптического контроля для прецизионных оптических покрытий IL550 и IL560
Система измерения глубины плазменного травления LEP400

 

 

FilmMaker2 - ПО для системы оптического контроля

Линейка продуктов
Устройства смены свидетеля (УСС)
FilmMaker2
FilmDirector2
Эксплуатационные характеристики


Обзор

Программный продукт FilmMaker2 поставляется с каждой системой оптического контроля производства компании Intellemetrics. ПО позволяет нашим клиентам решать следующие основные задачи:

● Создавать шаблон многослойного покрытия с нуля либо загружать шаблоны из внешних баз данных при помощи пакета программ для САПР (например, TFCalc, Macleod, Optilayer, Filmstar и т.д.).

● Моделировать шаблон многослойного покрытия.

● Создавать схему оптического контроля с шаблона многослойной пленки, включая материалы подложки, дисперсию, смены свидетеля, конфигурацию системы контроля и т.д.

● Использовать набор инструментов для анализа эффективности схемы оптического мониторинга в реальных условиях напыления (данная аналитическая работа проводится до фактического начала цикла напыления).

● Анализировать данные предыдущих циклов напыления с целью оптимизации будущих циклов напыления.

● Осуществлять вывод файла проекта (Project File), в котором содержится вся необходимая информация для запуска автоматического цикла напыления.

Текущая версия: версия 2, выпуск 0, сборка ПО 8.

Характеристики:

Программное обеспечение FilmMaker2 обладает рядом новых характеристик:

● Включение полной информации о дисперсии подложек в базы данных программ, которые используются для моделирования.

● Включение данных о сменах свидетеля в программные пакеты FilmEditor и FilmSimulator.

● Поправочные (инструментальные) коэффициенты и значения скорости осаждения добавлены в базы данных материалов.

● Автоматическая оптимизация «четвертьволновых» факторов (QWFactors) на основе послойного анализа с дальнейшей точной регулировкой на основе анализа готовой многослойной пленочной структуры.

● Определение результирующих характеристик пленки с использованием для контроля свидетелей либо самого напыляемого элемента.

● Модернизированные программные пакеты FilmEditor и FilmSimulator для ускоренной интерактивной разработки алгоритмов оптического контроля с мгновенной визуальной обратной связью.

● Усовершенствованная процедура создания проекта, его сохранения и перемещения в программную среду FilmDirector.

● Работает на базе Windows7 (как 32 бит, так и 64 бит).

● Полная совместимость с предыдущими версиями FilmMaker.

● Стандартные характеристики программного обеспечения FilmMaker

● Набор инструментов, которые позволяют создавать «четвертьволновые» и «не четвертьволновые» структуры.

● Диапазон длин волн от 190 нм до 30,000 нм.

● Неограниченное количество слоев.

● Неограниченное количество материалов.

● Базы данных материалов для неограниченного количества значений n и k. Выбор между частными базами данных и базами данных общего пользования.

● Информацию о материалах и слоях, а также другие данные можно импортировать с различных источников и экспортировать в файловый формат CVS и/или Excel.

● Поддерживает работу с поглощающими и непоглощающими материалами.

● Поддерживает прямой контроль на напыляемых объектах либо косвенный контроль с применением свидетелей (количество свидетелей не ограничено).

● Присваивает каждому материалу соответствующие скорость осаждения и поправочный (инструментальный) коэффициент.

● Поддерживает следующие режимы контроля: отражение от передней поверхности, отражение от задней поверхности, работа в проходящем свете ("на просвет").

● Используются разные виды подложек: с двухсторонней полировкой, с односторонней полировкой/с шероховатой задней поверхностью и/или с AR-покрытием.

● Моделирование уровня сигнала (T либо R %) в зависимости от толщины.

● Автоматическая оптимизация уровней усиления.

● Автоматическая установка временных ограничений в отношении принудительной остановки процесса напыления (принудительной «отсечки») для целей безопасности.

Возможность остановки процесса напыления отдельных слоев на основе показаний прибора оптического контроля, кварцевого контрольного устройства, времени либо в ручном режиме.

FilmEditor обладает следующими характеристиками:

    Оптимизация длины волны на основе послойного анализа.

    Минимизация ошибок в точках отсечки на основе послойного анализа посредством автоматической оптимизации «четвертьволновых факторов» (QWFactors).

    Позволяет выполнять смену свидетеля и отслеживать влияние на процесс.

    Широкий выбор методов анализа и схем фильтрации.

    Мгновенная визуальная обратная связь во всех перечисленных выше программных пакетах, что в значительной степени ускоряет и облегчает (делает интуитивным) разработку технологического или производственного процесса.

FilmSimulator обладает следующими характеристиками:

    Представление спектральных характеристик на графике в диапазоне от 190 нм до 30,000 нм.

    Визуализация спектральных характеристик многослойной пленки на свидетеле либо напыляемом образце.

    Дальнейшая автоматическая визуализация «четвертьволновых факторов» (QWFactors) на основе анализа всей пленочной структуры.

    Определение источников ошибок (отклонений) в отношении именно вашей напылительной камеры, прибора оптического контроля, конфигурации системы контроля, включая такие показатели, как оптический шум, отклонение коэффициента усиления от идеального значения (фотометрические измерения), погрешность смещения (фотометрические измерения), отклонение уставки длины волны и ширина спектра прибора.

    Моделирование спектральных характеристик, количество которых не ограничено, с учетом ошибок и оценкой их влияния на необходимость прекращения цикла напыления.

    Оценка производительности и эксплуатационных характеристик вашей модели до запуска цикла напыления.

    Графическое представление ошибок в точках отсечки при послойном анализе для любого количества циклов. Оценка устойчивости процесса.

    Экспорт информации для анализа ошибок во внешнем программном обеспечении.

FilmReviewer обладает следующими характеристиками:

    Анализ данных предыдущих циклов напыления.

    Загрузка однослойной либо многослойной модели для анализа.

    Просмотр параметров прибора оптического контроля, применяемых в отношении определенного слоя.

    Изменение параметров и повторная обработка данных с анализом последствий. Идеальный инструмент для оптимизации параметров с использованием данных, полученных с вашей системы.

Снимки экрана

Главная область для ввода данных в программе FilmMaker.

Главная область для ввода данных в программе FilmMaker
Бланк базы  данных материалов

Бланк базы данных материалов

  • Отсутствие количественных ограничений относительно используемых материалов
  • Определение показателей n и k для неограниченного количества длин волн
  • Определение скорости осаждения для каждого материала
  • Определение поправочного (инструментального) коэффициента для каждого материала
  • Считывание данных из файлов CSV
  • Создание баз данных материалов для частного либо общего пользования.

 

Строка главного меню программы FilmMaker. Выберите цвета для каждого слоя.
Строка главного меню программы FilmMaker. Выберите цвета для каждого слоя.


 

Выбранные цвета применяются ко всем графикам и, в том числе, для программы FilmDirector в отношении графиков, активных во время цикла напыления.
Строка главного меню программы FilmMaker. Выберите цвета для каждого слоя.


Используя ленту, можно задать многие важные параметры.
Строка главного меню программы FilmMaker. Выберите цвета для каждого слоя.

 

Пример представления результатов моделирования для многослойной пленки в дальней ИК области спектра - ИК спектре (FAR-IR), когда контроль осуществляется в «не четвертьволновом» режиме.
Пример представления результатов моделирования для многослойной пленки в дальней ИК области спектра - ИК спектре (FAR-IR), когда контроль осуществляется в «не четвертьволновом» режиме.


 

Пример представления результатов моделирования в отношении узкополосного фильтра (трехрезонаторного) для видимого диапазона, когда контроль осуществляется в «четвертьволновом» режиме.
Пример представления результатов моделирования для многослойной пленки в дальней ИК области спектра - ИК спектре (FAR-IR), когда контроль осуществляется в «не четвертьволновом» режиме.



Пример окна программы FilmEditor, в котором изображены смоделированная форма волны и обработанная форма волны для слоя 6 многослойной структуры.
Все важнейшие оптические контрольные параметры могут быть отредактированы в режиме реального времени на данном экране, после чего можно быстро оценить влияние изменений параметров на обрабатываемый оптический сигнал.
На изображении слева обозначены такие параметры как задержка (HoldOff), время ожидания (latency), экстремумы, подогнанные кривые и т.д. Каждый из параметров выделен отдельным цветом, что облегчает визуальное восприятие информации.
В фоновом режиме выполняются операции оптимизации работы системы, что позволяет минимизировать ошибки в точках отсечки, возникшие вследствие выбора вами значений для того или иного параметра.
Пример окна программы FilmEditor, в котором изображены смоделированная форма волны и обработанная форма волны для слоя 6 многослойной структуры.


Пример экрана программы FilmSimulator.
На рисунке представлена структура узкополосного фильтра из 44 слоев. Показаны теоретический заданный спектр и результаты анализа 10 циклов моделирования.
Графики ошибок (отклонений) показывают динамику ошибок для каждого слоя, которые фиксировались от одного цикла к другому. С помощью данной функции можно определить чувствительность всей структуры к ошибкам, возникающим в отдельных слоях.
Вы также можете использовать программу моделирования для того, чтобы увидеть, как бы выглядел результирующий спектр при использовании только кварцевого контрольного устройства.
Пример окна программы FilmEditor, в котором изображены смоделированная форма волны и обработанная форма волны для слоя 6 многослойной структуры.



Графики можно масштабировать различными способами: скопировать в буфер обмена, сохранить в файловом формате BMP, также многие графики могут быть сохранены в формате CSV для проведения анализа при помощи внешнего программного обеспечения.
Пример окна программы FilmEditor, в котором изображены смоделированная форма волны и обработанная форма волны для слоя 6 многослойной структуры.

 

Экран программы FilmReviewer

 

Экран программы FilmReviewer

Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08

Мобильная версия m.actan.ru

Copyright © 2004-2017 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика