АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

О компании Intellemetrics
Приборы оптического контроля для прецизионных оптических покрытий IL550 и IL560
Система измерения глубины плазменного травления LEP400

 

 

Приборы оптического контроля – Линейка продуктов

Линейка продуктов
Устройства смены свидетеля (УСС)
FilmMaker2
FilmDirector2
Эксплуатационные характеристики

Влияние оптического мониторинга на характеристики продукта и производительность производственного процесса


Модуль источника

 

Кварцево-галогенный 300 – 2400 нм

 

При использовании дейтериевого источника возможно расширение диапазона до 220 нм


Детекторы (приемники)

 

ФЭУ (PMT)

220 – 800 нм

 

Кремний (охлаждённый посредством эффекта Пельтье)

400 – 1100 нм

 

Si + InGaAs (охлаждённый посредством эффекта Пельтье)

550 – 1650 нм

 

PbS (охлаждённый посредством эффекта Пельтье)

800 – 2200 нм


Стандартные устройства
Устройства, описание которых приведено ниже, относятся к стандартной линейке наших продуктов. По запросу могут быть поставлены приборы с другими диапазонами длин волн.

Безволоконные оптические контрольные устройства (FSO-технология) IL550

Модули широкополосного источника и приемника (детектора), которые включают оптику источника и приемную оптику, устанавливаются непосредственно в напылительной камере. Управление этими устройствами осуществляет модуль контроллера, монтируемый в 19-дюймовую стойку. Преобразование в цифровую форму, а также большая часть аналитической работы выполняется модулем приемника (детектора) до того, как цифровые сигналы передаются на контроллер. Модуль контроллера запускает программный пакет FilmMaker и FilmDirector и интегрирует все аппаратные средства/ПО с системой управления напылительной камеры, таким образом, полностью автоматизируя циклы напыления.

МоделиБезволоконные оптические  контрольные устройства (FSO-технология) IL550

Модель
Диапазон волн (нм)
Il551UV
220-800
IL551
300-800
IL552
400-1100
IL553
550-1650
IL555
800-2200

 

 

 

 

 

 

 

Типовые конфигурации

Контроль в режиме отражения от передней поверхности Контроль в режиме отражения от задней поверхности

Рис. Контроль в режиме отражения от задней поверхности
Контроль в режиме работы 'на просвет' (в проходящем свете)
Рис. Контроль в режиме отражения от передней поверхности   Рис. Контроль в режиме работы "на просвет" (в проходящем свете)

 

 

 


Волоконно-оптические контрольные устройства IL560

В волоконно-оптических контрольных устройствах электроника источника и приемника (детектора), а также большая часть оптики помещается в корпус, монтируемый в 19-дюймовую стойку. Оптические волокна передают сигнал как по направлению к камере, так и от нее. В камере могут быть установлены различные оптические модули (с приемной оптикой и оптикой источника), что позволяет адаптировать систему к самым разным производственным (технологическим) процессам и конфигурациям.

Волоконно-оптические контрольные устройства производства Intellemetrics идеально подходят для применения в случаях, когда требуется контроль образцов при высокой скорости, в том числе прямой контроль подложек в движении. Время замера может быть сокращено до нескольких миллисекунд.

МоделиВолоконно-оптические  контрольные устройства IL560

Модель
Диапазон волн (нм)
Il561UV
220-800
IL561
300-800
IL552
400-1100
IL553
550-1650

 

 

 

 

 

 

Типовые конфигурации

Типовые конфигурации IL550

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Типовые конфигурации IL550

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


Наша команда, обладающая большим опытом в сфере прецизионных оптических покрытий, с радостью обсудит с Вами характеристики вашего технологического (производственного) процесса и предложит решение, отвечающее Вашим требованиям.

Наши квалифицированные инженеры установят и введут в эксплуатацию описанные выше системы мониторинга: работы по установке устройства в вашей системе для нанесения покрытий будут выполнены непосредственно на территории вашего предприятия. Наши специалисты также проведут начальное эксплуатационное обучение.

 


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2018 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика