АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы



Распродажи

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости
       Все новости АКТАН ВАКУУМ

2015. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru



03.11.2016

Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont
подробнее...


01.11.2016

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее...

26.04.2016.

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО "АКТАН ВАКУУМ" приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее...

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!
Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ "Сокольники", павильон № 2
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

подробнее...

30.09.2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке Aerospace Testing & Control 2015 подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне "Крокус Экспо", пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки

подробнее...

06.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific...
подробнее о тренинге...

2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее...



АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

О компании Intellemetrics
Приборы оптического контроля для прецизионных оптических покрытий IL550 и IL560
Система измерения глубины плазменного травления LEP400

 

 

Мониторинг глубины плазменного травления в режиме реального времени методом in situ («на месте»), определение точки (момента) завершения травления и видеосистема для контроля подложки

Система измерения  глубины плазменного травления LEP400

НОВИНКА: Выпуск новой модели для работы с малым пятном LEP410 начнётся осенью 2014 года

Модельный ряд системы LEP400
Программный пакет EtchDirector для LEP400
Применение системы LEP400

Если в вашем технологическом процессе есть потребность в измерении глубины плазменного травления, вам необходим прибор LEP400.

Устройство LEP400 может быть встроено практически в любую установку плазменного травления (при нормальном падении на подложку). Интеграция осуществляется через небольшое «технологическое окно» в центре верхнего электрода. Большинство современных установок плазменного травления оснащены данным «технологическими окнами» в стандартном исполнении, и многие производители по запросу поставят модифицированный электрод. Если у вас возникли вопросы относительно именно вашей установки плазменного травления, пожалуйста, свяжитесь с нами для получения консультации.

Устройства контроля глубины плазменного травления LEP400 осуществляют контроль в режиме реального времени во многих процессах, где используется сухое травление, включая сферы полупроводников, оптоэлектроники, МЭМС (MEMS), анализа отказов и удаления тонких пленок.

Система измерения  глубины плазменного травления LEP400

Применение данного прибора позволяет проводить исследования in situ («на месте») и сокращает затраты на проведение наладочных работ как в производственной сфере, так и в сфере НИОКР. Система оснащена понятным интерфейсом на базе Windows™ для ввода данных, управления и визуализации. Программа EtchDirector© рассчитывает скорость травления и глубину травления в режиме реального времени, позволяя контролировать завершение процесса.

Прибор LEP400 может работать в качестве автономного устройства либо интегрироваться в установку плазменного травления от OEM-производителя посредством простого и надежного коммуникационного интерфейса.

Точность и воспроизводимость:

Данные показатели зависят от особенностей конкретного процесса. Однако, приведем пример:
 Скорость травления = 100 нм мин-1, частота выборки = 5 Гц
  Точность глубины травления: ± 0.67 нм
  Воспроизводимость глубины травления: ± 0.17 нм

Помимо чрезвычайно высоких точности и воспроизводимости, система LEP400 отличается свойством прекрасной адаптивности именно к вашим требованиям, что будет способствовать достижению поставленных вами целей.

Можете быть уверены в своем выборе!

Система измерения  глубины плазменного травления LEP400


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08

Мобильная версия m.actan.ru

Copyright © 2004-2017 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика