АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

О компании Intellemetrics
Приборы оптического контроля для прецизионных оптических покрытий IL550 и IL560
Система измерения глубины плазменного травления LEP400

 

 

Модельный ряд системы LEP400

Модельный ряд системы LEP400
Программный пакет EtchDirector для LEP400
Применение системы LEP400

Выбор продукта


Продукты серии LEP400 могут иметь различную конфигурацию, что позволяет адаптировать устройства к требования, предъявляемым к процессу травления различных материалов, а также к особенностям различных технологических процессов (система может быть сконфигурирована как в соответствии с гибкими требованиями опытно-исследовательских лабораторий, так и согласно жестким требованиям крупносерийного производства). Конструкция этих приборов сделана универсально-сборной для того, чтобы вы могли адаптировать систему к своим потребностям. Мы можем поставить вам полный комплект оборудования, которое вы сможете запустить за несколько минут. Вам просто необходимо подать питание на установку плазменного травления и стол, чтобы включить контроллер и экран.

Система измерения глубины плазменного травления LEP400. Модельный ряд системы LEP400


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 



Вначале вам необходимо выбрать базовую систему. В состав каждой базовой системы включен ряд элементов:

Система измерения глубины плазменного травления LEP400. Модельный ряд системы LEP400

 Интерферометрическая лазерная головка LEP400 с камерой, осуществляющей слежение за образцом в режиме реального времени.

 Подвижная оправа с кнопочным управлением для оперативной настройки правильного падения в оптической системе.

 Высокоточный координатный столик (XY) с ручным управлением и длиной хода 25 мм, позволяющий отрегулировать лазерное пятно в соответствии с шаблоном.

 Переходник, позволяющий прикрутить головку к верхней части камеры плазменного травления.

 Оснащение всеми кабельными разъемами и разъемами питания.

Система измерения глубины плазменного травления LEP400. Модельный ряд системы LEP400

 Износоустойчивый модуль контроллера (19 дюймов x 4U)

 Аналого-цифровой модуль сбора данных (20 бит) для приема интерференционных сигналов с высоким разрешением.

Предустановленное программное обеспечение EtchDirector.
 Предустановленное программное обеспечение EtchDirector. Ознакомиться с подробной информацией о программном обеспечении EtchDirector можно здесь.

Базовые системы поставляются в трех модификациях, выбор которых зависит от требуемой длины волны:

ДЛИНА ВОЛНЫ
КОД ДЛЯ ЗАКАЗА
670 нм
LEP400.BASE.670
980 нм
LEP400.BASE.980
1550 нм
LEP400.BASE.1550

 

 

 

 

Стандартные опции

Каждая базовая система может быть укомплектована следующими опциями, адаптирующими устройство к вашим требованиям:

ОПИСАНИЕ
КОД ДЛЯ ЗАКАЗА
Оснащение полным набором средств цифрового ввода/вывода. Программа EtchDirector позволяет выполнять привязку сигналов к критическим событиям, благодаря чему реализована возможность интеграции базовой системы в систему контроля установки травления. Данное свойство системы позволяет выполнять автоматические запуск и остановку процесса травления при достижении требуемой глубины травления либо при выполнении критериев, установленных в отношении точки завершения (endpoint).
LEP.DIGIIO
17-дюймовый монитор для просмотра изображения образца и лазерного пятна с камеры LEP400 в режиме реального времени. Монитор может быть размещен рядом с базовой системой либо вблизи лазерной головки LEP400: решение идеально подходит для случаев установки оборудования в удаленных чистых комнатах.
LEP.CAMMON
Графическое отображение на экране. Установка данной опции позволяет просматривать изображение с камеры на 20-дюймовом жидкокристаллическом экране в режиме реального времени (LEP.LCDMON). Идеально подходит для случаев, когда занимаемое пространство является решающим фактором.
LEP.VISION
Координатный столик (XY) с механическим приводом, оборудованный координатной ручкой управления. Идеально подходит для случая, когда LEP400 находится за перегородкой чистой комнаты. В комплект поставки включен кабель длиной 5 м для соединения координатного столика и ручки управления.
LEP.MOTORXY
20-дюймовый жидкокристаллический монитор с красивым дизайном для подключения к базовой системе
LEP.LCDMON
Клавиатура и мышка для подключения к базовой системе.
LEP.KBDMOU

Предлагается ряд других опций для сопряжения и интеграции с установками плазменного травления от OEM-производителей. Пожалуйста, свяжитесь с нашими техническими специалистами, чтобы обсудить требования вашего технологического (производственного) процесса

 


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2018 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика