|
Программный пакет EtchDirector для системы измерения глубины плазменного травления LEP400
Модельный ряд системы LEP400
Программный пакет EtchDirector для LEP400
Применение системы LEP400
Базовые системы LEP400 комплектуются мощным программным обеспечение EtchDirector,, выпущенным компанией Intellemetrics: ПО предустановлено и готово к использованию. Далее приводим краткое описание возможностей этой программы. В полноэкранном режиме программа EtchDirector выглядит примерно таким образом. На экране представлены 5 окон, и, выбирая то или иное окно, можно отобразить необходимые параметры. К просмотру доступны следующие данные:
 |
 Графическое представление в режиме реального времени в виде «графика» либо «графика в движении».
Библиотека материалов
Структура подложки
Смоделированные данные
Параметры, заданные в отношении точки завершения (end point)
Запись данных
Изображение с камеры в режиме реального времени (опция)
Повторная обработка |
| Также система оснащена панелью управления, с помощью которой можно управлять системой вручную посредством кнопок и мгновенно получать информацию о рабочем состоянии системы. |
Первый вопрос, который всех интересует: «Каким образом будет выглядеть сигнал как функция глубины травления для моей подложки?». Программа EtchDirector объединяет полный набор инструментов для моделирования. |
 |
Программный пакет EtchDirector предоставляет доступ к обширным библиотекам материалов с показателями n и k.
Каждая библиотека предназначена для определенной длины волны, в зависимости от длины волны, которую вы используете для контроля в своей системе. Например, стандартная библиотека для длины волны 670 нм поставляется с 250-ю предустановленными материалами.
Каждую библиотеку можно редактировать, то есть изменять значения и добавлять либо удалять материалы в необходимом количестве. |
 |
Простой интерфейс для входа в меню информации о подложке (здесь содержатся такие данные, как материал и толщина).
Выполнив двойное нажатие на «вход» в библиотеку, можно получить доступ к показателям n и k.
Задайте быстрый доступ к структурам на множественных квантовых ямах и выделите их определенным цветом, чтобы упростить процесс просмотра.
Функции удаления и вставки для ускорения ввода.
Выберите единицу измерения толщины: ангстремы, нм, микроны.
Сохраните файл с созданной структурой (файл «Structure») для того, чтобы использовать его в будущем.
|
 |
В окне структуры (Structure Window) просто нажмите на кнопку создания модели (Create Model).
Отображает спектр отражения, который зависит от глубины травления.
Отображает экстремумы.
Выбор единиц измерения, отображаемых по оси (ангстремы, нм, микроны)
Полный набор инструментов для масштабирования.
Сохранение данных в ряде форматов (собственный формат Intellemetrics - .mod, CSV, .bmp либо скопировать в буфер обмена). Модель отображает колебания сигнала, которые вы будете наблюдать во время процесса травления. |
С помощью программного продукта EtchDirector вы можете задавать большое количество критериев в отношении точки завершения процесса травления: вы сможете отслеживать глубину и скорость травления и автоматически останавливать процесс в желаемой точке завершения. Алгоритмы с применением точки завершения (endpoint algorithm) позволяют решать задачи большого числа различных процессов. Возможны различные режимы работы, описание которых приведено далее.
|
 |
Это простейший режим, который наилучшим образом подходит для многослойной структуры либо одиночных слоев на подложке. Оператор просто вводит коэффициент преломления слоя, подвергаемого травлению, и требуемое значение глубины травления. Система контролирует процесс травления, отслеживает глубину и скорость травления, а также останавливает систему в точке завершения. Могут быть введены такие параметры, как фильтрация (Filtering), задержка (Hold Off), перетравление (Overetch).
|
 |
В режиме моделирования (Model Mode) оператор загружает файлы, содержащие смоделированные ранее структуры, и вводит требуемое значение глубины травления. После этого система отслеживает сигнал в режиме реального времени и использует современные алгоритмы для определения мгновенного значения глубины травления. В качестве точки завершения процесса система назначит момент достижения требуемой глубины травления. Могут быть введены такие параметры, как фильтрация (Filtering), задержка (Hold Off), перетравление (Overetch).
|
 |
Режим «изгибная мода» (Kink Mode) является мощным алгоритмом, который, во-первых, фиксирует «прямую линию», которая возникает в конце процесса травления (например, резистивный слой на кварце), а во-вторых, может применяться для определения слоя на границе раздела между различными поглотителями, например, между какими-либо металлами. |
 |
Одним из главных преимуществ этого режима работы является то обстоятельство, что вам не нужно знать начальную толщину материала, который подвергается травлению: система в любом случае определит слой на границе раздела. |
Контроль в режиме реального времени
|
 |
Во время процесса травления программа EtchDirector представляет вашему вниманию необходимые изображения (представление в режиме реального времени графика отражательной способности как функции времени, графика значений теоретической отражательной способности как функции глубины травления, передача изображений с камеры в режиме реального времени и т.д.). При запуске система может быть переключена в режим ручного управления (подобное решение подходит для научно-исследовательских лабораторий, где оператор находится рядом с оборудованием и может остановить процесс в желаемой точке) либо в автоматический режим работы, в котором система подключена к системе управления посредством опционального цифрового входа/выхода. |
 |
Панель управления (Control Panel) является неподвижным элементом среды EtchDirector и выполняет следующие функции: отображает текущее состояние системы, позволяет осуществлять управление системой в ручном режиме, отображает состояние автоматического режима управления и другие важные параметры.
Поле Signal Level (уровень сигнала) – это индикатор отражательной способности, который особенно полезен в процессе регулировки.
При помощи кнопок можно осуществлять полное управление системой: кнопки START (старт), GO (запуск), HOLD (удержание), CONTINUE (продолжение) и FORCE CUT (принудительное завершение).
Светодиодные индикаторы состояния отображают состояние отправляемых и принимаемых сигналов цифровых входа/выхода.
Текущее время травления, скорость травления и глубина травления отображаются в единицах измерения, выбор которых осуществляется вами. |
 |
Запись данных
Автоматическая запись данных каждого цикла. Сохраняет исходные данные, настройки фильтра и параметры, определяющие точку завершения процесса.
Оператор указывает папки и имена файлов.
При сохранении информации указываются номер цикла, порядковый номер и дата/время.
Автоматическая запись данных всех изменений состояния панели управления.
|
Базовая система LEP400 с цифровым входом/выходом (опция Digi IO) может быть интегрирована в систему управления установки травления, что позволит полностью автоматизировать процесс травления.
|
|
