|
Новая серия HVA 88200 - Алюминиевые перепускные затворы
OEM интеграция. Все наши продукты разрабатываются с учетом обеспечения совместимости с новейшим электронным оборудованием и предлагают решение для обновления аналогичного оборудования предыдущих поколений. Будь то установки для травления, химического осаждения из паровой фазы, физического осаждения паров или имплантационная установка, затворы серии HVA везде обеспечат простую интеграцию для всех ваших приложений. Наши затворы имеют стандартные фланцы для подсоединения к магистралям 150, 200, 300 и 450 мм.
Универсальные размеры. Если вам нужен уникальный затвор, мы можем разработать для вас затвор произвольного размера и с нестандартными фланцами размером до 4000 мм.
Совместимость с процессом. Каждый затвор покидает наше производство с высококачественным анодированным покрытием по стандарту MIL SPEC type II. Неотъемлемая черта конструкции затворов серии HVA – возможность работы в процессах с высокой температурой до 150 °C. Опционально возможны модели для более высоких температур.
Вакуумные характеристики. Корпус и тарелка прецизионно-точно изготавливаются из заготовки High Grade 6061 T6. Для уменьшения утечек в производственном процессе не используется сварка и литье. Когда вы используете затвор серии HVA, вы можете быть уверены, что получите наилучшие характеристики вакуума.
Надежность системы. Затворы серии HVA оснащены штоками из закаленной нержавеющей стали и нашей молибденовой очистительной системой защиты для гарантии, что затворы будут продолжать работать и после многочисленных разрушений подложки и обеспечат сервисный интервал в более чем 2 000 000 циклов.
Простота обслуживания / Эффективность по стоимости. Мы разработали список наших сервисных процедур максимально гибко. Список стандартных процедур сервисного обслуживания может быть изменен по просьбе пользователя на меньший объем регулярных процедур, что уменьшит время простоя и стоимость обслуживания.
Пожизненная гарантия. Вы можете быть уверены, что сделали разумный выбор. Мы подтверждаем качество каждого выпущенного заводом затвора нашей ограниченной пожизненной гарантией.*
(* стандартное сервисное обслуживание, за исключением уплотнительных колец и гофрированной мембраны. Частота обслуживания зависит от условий процесса)
Спецификация серии 88200
| Материалы |
|
| Корпус и тарелка |
Алюминий 6061-T6 |
| Сварное гофрированное уплотнение штока |
AM-350 |
| Привод и штифты |
Закаленная нержавеющая сталь |
| Уплотнение верхней крышки к корпусу/тарелки |
Уплотнительные кольца
Viton®, опционально FFKM |
| Вакуумные характеристики |
|
| Рабочий вакуум |
до 1 x 10-9 мбар |
| Натекание по гелию |
< 2 x 10-9 мбар л/с |
| Перепад давлений в закрытом состоянии |
1.5 бар в любом направлении |
| Перепад давлений перед открытием |
≤ 30 мбар |
| Рабочая температура |
Без соленоида |
| Корпус |
150°C |
| Привод
|
60°C |
| Привод: |
|
| Пневматический |
2 - 7 бар |
| Соленоид (При отключении напряжения тарелка остается в том же положении) |
4.3 Вт |
| Индикатор положения, макс. |
~115 В или +28 В, 20 мА |
| Положение для монтажа |
любое |
| Циклов до сервисного обслуживания |
>2,000,000
в зависимости от процесса |
 |
| DN |
мм дюйм |
32 x 222
1.26 x 8.74 |
46 x 236
1.81 x 9.29 |
50 x 336
1.97 x 13.23 |
56 x 496
1.81 x 9.29 |
| A |
мм дюйм |
203.2
8.00 |
203.2
8.00 |
203.2
8.00 |
249.9
9.84 |
| B |
мм дюйм |
300.0
11.81 |
300.0
11.81 |
400.0
15.75 |
586.0
23.07 |
| C |
мм дюйм |
340.0
13.39 |
340.0
13.39 |
440.0
17.32 |
645.0
25.39 |
| D |
мм дюйм |
162.1
6.38 |
162.1
6.38 |
162.1
6.38 |
210.8
8.30 |
| E |
мм дюйм |
50.0
1.97 |
50.0
1.97 |
50.0
1.97 |
67.0
2.64 |
| F |
мм дюйм |
58.0
2.28 |
58.0
2.28 |
58.0
2.28 |
60.0
2.36 |
| G |
мм дюйм |
361.7
14.24 |
361.7
14.24 |
361.7
14.24 |
401.7
15.82 |
*Размеры могут быть изменены |
Информация для заказа
Пневматические с витоновым уплотнением
| DN |
Модели с креплением корпуса на болтах |
Модели с креплением корпуса на струбцинах |
| мм |
дюйм |
| 32 x 220 |
1.26 x 8.74 |
88212-0109RXJ |
88212-0109RXK |
| 32 x 332 |
1.26 x 13.0 |
88212-0113RXJ |
88212-0113RXK |
| 46 x 236 |
1.81 x 9.29 |
88212-0209RXJ |
88212-0209RXK |
| 50 x 336 |
1.97 x 13.23 |
88212-0213RXJ |
88212-0213RXK |
| 50 x 486 |
1.97 x 19.13 |
88212-0219RXJ |
88212-0219RXK |
Включает индикатор положения на герконах и соленоид на ~120 В. Для заказа соленоида на 24 В надо изменить 2 на 1: 8821[1]- |
Опции:
Твердое анодирование корпуса и тарелки
Пульт электрического управления
Контроль температуры
Альтернативный материал для кольцевых уплотнений
Переходные детали для фланцев
Порт предварительной откачки
Подготовка корпуса для установки датчиков | |
2015-2020. 
