|
SmartlineTM серия вакуумных датчиков.
VCL – Комбинированный вакуумный датчик VCL серии Smartline абсолютное давление от 1200 - 5 x 10-4 мбар
Комбинированные вакуумные датчики серии VСL на базе пьезорезистивного датчика и датчика Пирани для коррозионных сред предназначен для сверхточного измерения с высоким разрешением в условиях низкого и глубокого вакуума для шлюзов.
Преимущества комбинированного вакуумного датчика серии VCL:
• Комбинированный датчик со встроенной системой сенсоров
• Три различных метода измерения абсолютного и относительного давления; идеально подходит для приложений со шлюзом
• Два пьезорезистивных датчика для контроля откачки и атмосферного давления
• Выходное дифференциального давления для точного срабатывания функции открытия двери
• Перепад давления на выходе для точного запуска функции открытия двери
• Датчик Пирани, измеряющий давление до 1е-4 мбар, контролирует передачу низкого давления между шлюзом и рабочей камерой, сводя к минимуму попадание частиц в рабочую камеру
• Высокая точность, оптимальное разрешение, превосходная стабильность
• Две независимые уставки реле могут быть назначены любой из функций датчика
• Длительность реакции меньше чем 40 мс
• Стабильность измеряемых показателей за счет оптимизированной температурной компенсации
• Цифровое регулирование нулевого давления с помощью цифрового интерфейса RS485
• Измерения не зависят от типа газа выше 20 мбар
• Совместим с 2 и 4-канальными блоками контроля и индикации Thyracont VD12 / VD14
• Вакуумный соединитель - малый фланец из нержавеющей стали DN 16 KF/CF
Технические характеристики комбинированного вакуумного датчика VCL
| Принцип измерения |
Мембранный пьезорезистивный / Пирани |
| Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нерж. сталь 1.4307, платина/родий, никель, стекло, золото, оксид кремния |
| Диапазон измерения |
1200 - 5 x 10-4 мбар (900 - 5 x 10-4 торр), макс. избыточн. абсолют. давление 4 бар
относительное давление -1060… +340 мбар (в зависимости от давления окружающей среды) |
| Точность |
1200 - 10 мбар: ±0,3% от полной шкалы
10 - 1 x 10-2 мбар: ±10% от показания |
| Повторяемость |
1200 - 10 мбар: ±0,1% от полной шкалы
10-1x10-2 мбар: ±5% от показания |
| Длительность реакции |
40 мс |
| Питание |
20 - 30 В постоянного тока |
| Электрическое подключение |
SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией |
| Потребление мощности |
2,5 Вт, дополнительно 0,8 Вт для EtherCAT / реле / ЖКД / дополнительно 1,6 В для Profinet |
| Рабочая температура |
+5...+60°C |
| Температура хранения |
-40...+65°C |
| Макс. температура вакуума |
125°C на фланце |
| Выходной сигнал |
0-10 В пост., диапазон измерений от 2,2 до 8,58 В пост, логарифмическая хар-ка,
(по умолчанию), кроме EtherCAT, Profinet
1 В / десятичн. долю, нагрузочное сопротивление > 10 k? |
| Последовательный интерфейс |
RS485: от 9,6 Кбит/с до 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стопбит, без проверки четности |
| Коммутационные положения |
2 переключ. реле, 49 В перем. / 2 A, 30 В пост. / 2 A, макс. 60 ВА |
| Вакуумный соединитель |
DN 16 ISO-KF(VCL53)
DN 16 ISO-KF(VCL54) |
| Степень защиты |
До IP54 (с адаптером XB15SL05) |
| Масса |
195 г |
Габаритные размеры комбинированного вакуумного датчика VCL
Информация для заказа комбинированного вакуумного датчика VCL
| Артикул |
Наименование |
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru |
| VCL53D |
VCL53D Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани для коррозионных сред без дисплея на фланце KF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, абсолютное давление 1200-5е-4 мбар и относительное давление от -1060 до +340 мбар |
 |
| VCL53DL |
VCL53DL Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани для коррозионных сред с дисплеем на фланце KF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, абсолютное давление 1200-5е-4 мбар и относительное давление от -1060 до +340 мбар |
|
| VCL53E |
VCL53E Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани для коррозионных сред без дисплея на фланце KF16, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, абсолютное давление 1200-5е-4 мбар и относительное давление от -1060 до +340 мбар |
|
| VCL53PN |
VCL53PN Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани для коррозионных сред без дисплея на фланце KF16, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, абсолютное давление 1200-5е-4 мбар и относительное давление от -1060 до +340 мбар |
|
| VCL54D |
VCL54D Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани для коррозионных сред без дисплея на фланце CF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, абсолютное давление 1200-5е-4 мбар и относительное давление от -1060 до +340 мбар |
|
| VCL54DL |
VCL54DL Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани для коррозионных сред с дисплеем на фланце CF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, абсолютное давление 1200-5е-4 мбар и относительное давление от -1060 до +340 мбар |
|
| VCL54E |
VCL54E Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани для коррозионных сред без дисплея на фланце CF16, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, абсолютное давление 1200-5е-4 мбар и относительное давление от -1060 до +340 мбар |
|
| VCL54PN |
VCL54PN Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани для коррозионных сред без дисплея на фланце CF16, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, абсолютное давление 1200-5е-4 мбар и относительное давление от -1060 до +340 мбар |
|
| Сменные сенсоры |
| B_VCL53 |
B_VCL53 Сменный сенсор на фланце KF16 (NW16), для VCL53 |
|
| B_VCL54 |
B_VCL54 Сменный сенсор на фланце CF16 (ConFlat 1,33"), для VCL54 |
|
| Контроллеры вакуумных датчиков |
| VD12S2 |
VD12S2 Контроллер двухканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSC43MV, VSP63MV, VSP64MV |
|
| VD10S8 |
VD10S8 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSP63MV, VSP64MV |
|
| VD14S4 |
VD14S4 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков серии Smartline |
|
| Программное обеспечение |
| VGR |
VGR Программное обеспечение VacuGraph для Windows, MacOs и Linux (для одного устройства) |
|
| VGRX3 |
VGRX3 Программное обеспечение VacuGraph для Windows, MacOs и Linux (для трёх устройств) |
|
|
|
2015-2020. 
