2015-2020. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru

VSH - Комбинированный вакуумный датчик VSH серии Smartline абсолютное давление от 1000 до 5 х 10^-10 мбар

Комбинированный вакуумный датчик VSH на базе датчика Пирани/горячий катод предназначен для измерения абсолютного давления в диапазоне от атмосферного до сверх глубокого вакуума.

Микроконтроллер осуществляет автоматическое управление опциональной взаимосвязью обоими вакуумными датчиками.

Smartline представляет собой новейшую разработку, позволяющую реализовать безопасный, точный и экономичный контроль за процессами.

Типовое применение комбинированного вакуумного датчика VSH

• Анализаторы
• Технологии нанесения покрытия и парофазное осаждение
• Промышленная металлизация
• Измерение и контроль в глубоком и ультра глубоком вакууме
• Вакуумные топки
• Технологические процессы
• Камеры моделирования космических условий

Преимущества комбинированного вакуумного датчика VSH

• Широкий диапазон измерений на базе датчика Пирани / Байярда - Альперта
• Датчик с холодным катодом автоматически контролируется датчиком Пирани
• Пирани с расширенным диапазоном измерений и подогреваемым катодом позволяет выполнять измерения при более низком давлении на протяжении увеличенного срока службы
• Высокая точность и исключительная повторяемость
• Низкий уровень воздействия на вакуумный процесс температуры и помех
• Малое деление измерительной шкалы, например для VSH88D составляет 20 см³
• Устойчивый к потоку газа датчик Байярда - Альперта с двойной нитью с иттриевым покрытием
• Невосприимчивость к потокам газов
• Два независимых беспотенциальных выключателя - коммутационные положения
• Светодиодные индикаторы для контроля состояния устройства и коммутационных положений
• Легкосменная головка датчика с сохраняемой градуировкой
• Точное измерение давления за счет использования поправочных коэффициентов для разного типа газов для датчиков Пирани и горячий катод
• Совместим с 2 и 4-канальными блоками контроля и индикации Thyracont VD12 / VD10
• Дискретный интерфейс RS485 и вспомогательный аналоговый выход 1,219...8,6 В или EtherCAT
• Цифровое регулирование уровней нулевого и атмосферного давления с помощью кнопки или интерфейса связи
• Большой встроенный ЖК дисплей с задней подсветкой (VSH88DL, VSH89DL)
• В случае ошибки дисплей ярко мерцает красным цветом, в нормальном режиме дисплей светится зеленым цветом (VSH88DL, VSH89DL)
• Простое соединение с ПЛК
• Сигнал дискретного выхода можно передавать на длительное расстояние (до 500 м)
• Скорость передачи данных от 9,6 до 115 Кбит/с
• Прочная металлическая конструкция корпуса защищенная от электромагнитных помех
• Вакуумный соединитель - малый фланец из нержавеющей стали DN 40 ISO-KF, DN 25 ISO-KF или DN 40 CF-F

Технические характеристики комбинированного вакуумного датчика VSH

Принцип измерения	Пирани / Байярда - Альперта, зависимый от типа газа
Материалы, контактирующие с вакуумом	Нерж. сталь 1.4307, Ni, W, Pl, иридий покрытый иттрием, стекло
Диапазон измерения	1000 - 5 x10-10 мбар (750 - 5 x10-10 торр), макс. избыточн. абсолют. давление 4 бар
Точность	1000 - 10 мбар: < 30% от показания 10 - 1 x 10-8 мбар: < 10% от показания
Повторяемость	±2% (10 - 1 x 10-2 мбар), 5% (1 x10-2 - 1 x 10-8 мбар)
Время отклика	< 200 мс (2 с - на подключение тока эмиссии БА)
Ток эмиссии	Автоматическое переключение 10 µA, 100 µA, 1 мА, 2 мА
Дегазация	Нагрев анода электрическим током
Питание	20 - 30 В постоянного тока
Электрическое подключение	VSH87D/DL, VSH88D/DL, VSH89D/DL: SubD, 15-полюсн., вилка, с фиксацией VSH87E, VSH88E, VSH89E: Круглый разъем M12, розетка, с фиксацией, 1xA-стандарт, 5-полюсн., 2xD coded, 4-полюсн
Потребление мощности	Макс. 8 Вт, дополнительно 1 Вт для дегазации и 0,8 Вт для EtherCAT/реле/ЖКД
Рабочая температура	+5...+60°C
Температура хранения	-40...+65°C
Макс. температура вакуума	180°C на фланце (гальванически развязан с электронными компонентами)
Выходной сигнал	0 - 10 В пост., диапазон измерений 1,219 - 8,6 В пост., логарифм. хар-ка, 0,6 В/десятичн. долю, нагрузочное сопротивление > 10kΩ (VSH88D/DL, VSH89D/DL)
Последовательный интерфейс	RS485: от 9,6 Кбит/с до 115 Кбит/с, переключение адресов 1 - 16
Коммутационные положения	2 переключ. реле, 50 В перем. / 2 A, 30 В пост. / 2 A, макс. 60 ВА
Вакуумный соединитель	DN 25 ISO-KF (VSH87), DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF-F (VSH89)
Степень защиты	IP54 (VSH87E, VSH88E, VSH89E), IP40 (VSH87D/DL, VSH88D/DL, VSH89D/DL)
Масса	555 г (приблиз.)

Габаритные размеры комбинированного вакуумного датчика VSH



1 Выход (В)
2 Давление (гПа)
3 V_ВЫХ (В) = 0,6 log (p(гПа)) + 6,8
4 p(гПа) = 10^{(Vвых(В)) - 6,8)/0,6)}
5 Размеры даны в миллиметрах

Информация для заказа комбинированного вакуумного датчика VSH

Артикул	Наименование	Купить в интернет-магазине eVacuum.ru
VSH87DL	VSH87DL Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт с дисплеем на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 1000-5e-10 мбар
VSH87D	VSH87D Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт без дисплея на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 1000-5e-10 мбар
VSH87E	VSH87E Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт без дисплея на фланце KF25, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, 1000-5e-10 мбар
VSH87PN	VSH87PN Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт без дисплея на фланце KF25, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, 1000-5e-10 мбар
VSH88D	VSH88D Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт без дисплея на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В и цифровой интерфейс RS485, 1000-5e-10 мбар
VSH88DL	VSH88DL Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт с дисплеем на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 1000-5e-10 мбар
VSH88E	VSH88E Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт без дисплея на фланце KF40, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, 1000-5e-10 мбар
VSH88PN	VSH88PN Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт без дисплея на фланце KF40, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, 1000-5e-10 мбар
VSH89D	VSH89D Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт без дисплея на фланце CF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 1000-5e-10 мбар
VSH89DL	VSH89DL Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт с дисплеем на фланце CF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 1000-5e-10 мбар
VSH89E	VSH89E Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт без дисплея на фланце CF40, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, 1000-5e-10 мбар
VSH89PN	VSH89PN Комбинированный вакуумный датчик Пирани/высоковакуумный датчик с горячим катодом типа Байард-Альперт без дисплея на фланце CF40, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, 1000-5e-10 мбар
Набор
P_VD1288	P_VD1288 Набор из контроллера двухканального VD12S2 и комбинированного вакуумного датчика Пирани/высоковакуумного датчика с горячим катодом типа Байард-Альперт VSH88D без дисплея на фланце KF40, 1000-5е-10 мбар, соединительный кабель 2 м
Сменные сенсоры
B_VSH87	B_VSH87 Сменный сенсор на фланце KF25 (NW25), для VSH87
B_VSH88	B_VSH88 Сменный сенсор на фланце KF40 (NW40), для VSH88
B_VSH89	B_VSH89 Сменный сенсор DN 40 CF, для VSH89
Контроллеры вакуумных датчиков
VD12S2	VD12S2 Контроллер двухканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSC43MV, VSP63MV, VSP64MV
VD10S8	VD10S8 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSP63MV, VSP64MV
VD14S4	VD14S4 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков серии Smartline
Программное обеспечение
VGR	VGR Программное обеспечение VacuGraph для Windows, MacOs и Linux (для одного устройства)
VGRX3	VGRX3 Программное обеспечение VacuGraph для Windows, MacOs и Linux (для трёх устройств)