|
 SmartlineTM серия вакуумных датчиков.
VSI – Комбинированный вакуумный датчик VSI серии Smartline абсолютное давление от 2 х 10-3 - 5 x 10-9 мбар
Вакуумный датчик VSI с холодным катодом предназначен для измерения абсолютного давления в диапазоне от глубоко до сверхглубокого вакуума.
Микроконтроллер вакуумного датчика позволяет проводить индивидуальную настройку параметров для технологических процессов.
Типовое применение вакуумного датчика с холодным катодом VSI
• Технологии нанесения покрытия и парофазное осаждение
• Промышленные печи
• Технологическое проектирование
• Напылительные установки
• Аналитическое оборудование
• Измерение и контроль в глубоком и ультра глубоком вакууме
Преимущества вакуумного датчика с холодным катодом VSI
• Ручное и автоматическое управление холодным катодом
• Быстрое зажигание катода благодаря специальной технологии
• Автоматическое отключение при напуске атмосферы
• Наличие разъема для класса защиты IP54
• Легкосменная головка датчика с сохраняемой градуировкой
• Дискретный интерфейс RS485 и вспомогательный аналоговый выход 2,199...7,801 В или EtherCAT
• Простое соединение с ПЛК
• Сигнал дискретного выхода можно передавать на длительное расстояние (до 500 м)
• Выходной сигнал масштабируется в зависимости от требуемых выходных характеристик и для простой замены существующих датчиков
• Совместим с 2 и 4-канальными блоками контроля и индикации Thyracont VD12 / VD10
• Вакуумный соединитель - малый фланец из нержавеющей стали DN 25 ISO-KF, DN 40 ISO-KF, DN 40 CF-F
Технические характеристики комбинированного вакуумного датчика VSI
| Принцип измерения |
Обращенный магнетрон, зависимый от типа газа |
| Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нерж. сталь 1.4307, никель, вольфрам, молибден, стекло, керамика |
| Диапазон измерения |
2 х 10-3 - 5 x 10-9 мбар |
| Точность |
2 x 10-3 мбар - 2 x 10-8 мбар: < 25% от показания |
| Питание |
20 - 30 В пост. |
| Напряжение на катоде |
max 2,5 кВ |
| Электрическое подключение |
SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией |
| Потребление мощности |
Макс. 3 Вт, дополнительно 0,8 Вт для EtherCAT / реле / ЖКД / дополнительно 1,6 В для Profinet |
| Рабочая температура |
+5...+60°C |
| Температура хранения |
-40...+65°C |
| Макс. температура вакуума |
160°C на фланце (гальванически развязан с электронными компонентами) |
| Выходной сигнал |
0 - 10 В пост. , диапазон измерений 2,199 - 7,801 В пост., логарифм. хар-ка, 0,6 В/десятичн. долю, нагрузочное сопротивление > 10k? |
| Последовательный интерфейс |
RS485: от 9,6 Кбит/с до 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп бит, без проверки четности |
| Время отклика |
50 мс |
| Вакуумный соединитель |
DN 40 ISO-KF |
| Степень защиты |
IP54, IP40 |
| Масса |
555 г (приблиз.) |
Габаритные размеры комбинированного вакуумного датчика VSI
Информация для заказа комбинированного вакуумного датчика VSI
| Артикул |
Наименование |
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru |
| VSI17D |
VSI17D Вакуумный датчик с холодным катодом без дисплея на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 2e-3-5e-9 мбар |
 |
| VSI17DL |
VSI17DL Вакуумный датчик с холодным катодом с дисплеем на фланце KF25, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI17E |
VSI17E Вакуумный датчик с холодным катодом без дисплея на фланце KF25, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI17PN |
VSI17PN Вакуумный датчик с холодным катодом без дисплея на фланце KF25, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI18D |
VSI18D Вакуумный датчик с холодным катодом без дисплея на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI18DL |
VSI18DL Вакуумный датчик с холодным катодом с дисплеем на фланце KF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI18E |
VSI18E Вакуумный датчик с холодным катодом без дисплея на фланце KF40, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI18PN |
VSI18PN Вакуумный датчик с холодным катодом без дисплея на фланце KF40, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI19D |
VSI19D Вакуумный датчик с холодным катодом без дисплея на фланце СF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI19DL |
VSI19DL Вакуумный датчик с холодным катодом с дисплеем на фланце СF40, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI19E |
VSI19E Вакуумный датчик с холодным катодом без дисплея на фланце СF40, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| VSI19PN |
VSI19PN Вакуумный датчик с холодным катодом без дисплея на фланце СF40, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, 2e-3-5e-9 мбар |
|
| Контроллеры вакуумных датчиков |
| VD12S2 |
VD12S2 Контроллер двухканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSC43MV, VSP63MV, VSP64MV |
|
| VD10S8 |
VD10S8 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSP63MV, VSP64MV |
|
| VD14S4 |
VD14S4 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков серии Smartline |
|
| Программное обеспечение |
| VGR |
VGR Программное обеспечение VacuGraph для Windows, MacOs и Linux (для одного устройства) |
|
| VGRX3 |
VGRX3 Программное обеспечение VacuGraph для Windows, MacOs и Linux (для трёх устройств) |
|
| |
2015-2020. 
