|
SmartlineTM серия вакуумных датчиков.
VSL – Комбинированный вакуумный датчик VSL серии Smartline абсолютное давление от 1200 - 1 x 10-4 мбар
Комбинированный вакуумный датчик VSL предназначен для контроля откачки и нагнетания воздуха в камеру; датчик Пирани, измеряющий давление до 1–4 мбар, контролирует передачу низкого давления между шлюзом и рабочей камерой, минимизируя появление частиц.
Преимущества вакуумного датчика VSL
• Комбинированный датчик со встроенной системой сенсоров
• Три различных метода измерения абсолютного и относительного давления; идеально подходит для приложений со шлюзом
• Два пьезорезистивных датчика для контроля откачки и атмосферного давления
• Перепад давления на выходе для точного запуска функции открытия двери
• Датчик Пирани, измеряющий давление до 1е-4 мбар, контролирует передачу низкого давления между шлюзом и рабочей камерой, сводя к минимуму попадание частиц в рабочую камеру
• Высокая точность, оптимальное разрешение, превосходная стабильность
• Две независимые уставки реле могут быть назначены любой из функций датчика
• Длительность реакции меньше, чем 40 мс
• Стабильность измеряемых показателей за счет оптимизированной температурной компенсации
• Цифровое регулирование нулевого давления с помощью цифрового интерфейса RS485
• Измерения не зависят от типа газа выше 20 мбар
• Совместим с 2 и 4-канальными блоками контроля и индикации Thyracont VD12 / VD14
• Вакуумный соединитель - малый фланец из нержавеющей стали DN 16 CF
Технические характеристики комбинированного вакуумного датчика VSL
| Принцип измерения |
Мембранный пьезорезистивный / Пирани |
| Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нерж. сталь 1.4307, никель, золото, двуокись кремния, вольфрам, стекло |
| Диапазон измерения |
1200 - 1 x 10-4 мбар (900 - 1 x 10-4 торр), макс. избыточн. абсолют. давление 4 бар |
| Точность |
1200 - 40 мбар: ±0,3% от полной шкалы
40 - 2 x 10-3 мбар: ±10% от показания |
| Повторяемость |
1200 - 40 мбар: ±0,1% от полной шкалы
40-1x10-2 мбар: ±2% от показания |
| Длительность реакции |
40 мс |
| Питание |
20 - 30 В постоянного тока |
| Электрическое подключение |
Круглый разъем M12, розетка, с фиксацией
1x A-стандарт, 5-полюсн., 2x D coded, 4 -полюсн. |
| Потребление мощности |
2,5 Вт, дополнительно 0,8 Вт для EtherCAT / реле / ЖКД / дополнительно 1,6 В для Profinet |
| Рабочая температура |
+5...+60°C |
| Температура хранения |
-40...+65°C |
| Макс. температура вакуума |
150°C на фланце |
| Последовательный интерфейс |
RS485: от 9,6 Кбит/с до 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стопбит, без проверки четности |
| Коммутационные положения |
Максимум 2,5 В / дополнительно 0,8 В для EtherCAT / дополнительно 1,6 В для Profinet |
| Вакуумный соединитель |
DN 16 ISO-KF |
| Степень защиты |
IP54 |
| Масса |
195 г |
Габаритные размеры комбинированного вакуумного датчика VSL
Информация для заказа комбинированного вакуумного датчика VSL
| Артикул |
Наименование |
Купить в интернет-магазине eVacuum.ru |
| VSL53D |
VSL53D Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани без дисплея на фланце KF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, абсолютное давление 1200-1е-4 мбар и относительное давление от -1260 до 940 мбар |
 |
| VSL53DL |
VSL53DL Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани с дисплеем на фланце KF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, абсолютное давление 1200-1е-4 мбар и относительное давление от -1260 до 940 мбар |
|
| VSL53E |
VSL53E Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани без дисплея на фланце KF16, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, абсолютное давление 1200-1е-4 мбар и относительное давление от -1260 до 940 мбар |
|
| VSL53PN |
VSL53PN Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани без дисплея на фланце KF16, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, абсолютное давление 1200-1е-4 мбар и относительное давление от -1260 до 940 мбар |
|
| VSL54D |
VSL54D Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани без дисплея на фланце СF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, абсолютное давление 1200-1е-4 мбар и относительное давление от -1260 до 940 мбар |
|
| VSL54DL |
VSL54DL Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани с дисплеем на фланце CF16, выходной сигнал 0-10 В логарифмический и цифровой интерфейс RS485, абсолютное давление 1200-1е-4 мбар и относительное давление от -1260 до 940 мбар |
|
| VSL54E |
VSL54E Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани без дисплея на фланце CF16, цифровой интерфейс RS485 и EtherCAT, абсолютное давление 1200-1е-4 мбар и относительное давление от -1260 до 940 мбар |
|
| VSL54PN |
VSL54PN Комбинированный вакуумный пьезорезистивный датчик/датчик Пирани без дисплея на фланце CF16, цифровой интерфейс RS485 и Profinet, абсолютное давление 1200-1е-4 мбар и относительное давление от -1260 до 940 мбар |
|
| Сменные сенсоры |
| B_VSL53 |
B_VSL53 Сменный сенсор на фланце KF16 (NW16), для VSL53 |
|
| B_VSL54 |
B_VSL54 Сменный сенсор на фланце CF16 (ConFlat 1,33"), для VSL54 |
|
| Контроллеры вакуумных датчиков |
| VD12S2 |
VD12S2 Контроллер двухканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSC43MV, VSP63MV, VSP64MV |
|
| VD10S8 |
VD10S8 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков VSR, VSP, VSM, VSH, VSP63MV, VSP64MV |
|
| VD14S4 |
VD14S4 Контроллер четырехканальный для подсоединения вакуумных датчиков серии Smartline |
|
| Программное обеспечение |
| VGR |
VGR Программное обеспечение VacuGraph для Windows, MacOs и Linux (для одного устройства) |
|
| VGRX3 |
VGRX3 Программное обеспечение VacuGraph для Windows, MacOs и Linux (для трёх устройств) |
|
|
|
2015-2020. 
